买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉上海芯立电子科技有限公司申请的专利一种均匀温控式干法刻蚀机获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120300028B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510503541.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种均匀温控式干法刻蚀机是由徐锋;胡凯;杨军;文冬;闫乐成设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种均匀温控式干法刻蚀机在说明书摘要公布了：本发明公开了一种均匀温控式干法刻蚀机，涉及半导体刻蚀技术领域。本发明包括工作台，所述工作台的内壁固定连接有液压杆，所述液压杆的伸缩端固定连接有放置块，所述工作台的顶部固定连接有固定架，所述固定架的内壁固定连接有保护罩，所述保护罩的内壁顶部固定连接有等离子体制造模块，所述保护罩的外壁设置有用于均匀控温的控温装置。本发明通过L形杆、限位圆块、弹簧一、抵触圆块、刮板、U形块、三角块的配合，使刮板沿着圆晶体的边缘进行移动，刮板的移动会将圆晶体边缘的光刻胶清理掉，从而避免光刻胶在刻蚀时产生裂纹，然后脱落，会影响光刻机的焦平面设置，导致圆晶体边缘临近区域曝光不均匀。

本发明授权一种均匀温控式干法刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种均匀温控式干法刻蚀机，包括工作台（1），所述工作台（1）的内壁固定连接有液压杆（2），所述液压杆（2）的伸缩端固定连接有放置块（3），所述工作台（1）的顶部固定连接有固定架（4），所述固定架（4）的内壁固定连接有保护罩（5），所述保护罩（5）的内壁顶部固定连接有等离子体制造模块（10），所述保护罩（5）的外壁设置有用于均匀控温的控温装置（6），所述工作台（1）的侧面固定连接有控制面板（7），所述工作台（1）的侧面设置有机械臂（11），其特征在于：所述工作台（1）的侧面设置有刮除装置（8），所述刮除装置（8）包括固定块（81），所述固定块（81）的侧面固定连接在工作台（1）的侧面上，所述固定块（81）的侧面贯穿且滑动有L形杆（82），所述L形杆（82）的一端固定连接有限位圆块（83），所述限位圆块（83）与固定块（81）之间设置有弹簧一（84），所述L形杆（82）的顶部固定连接有抵触圆块（85），所述L形杆（82）的外壁滑动连接有刮板（86），所述机械臂（11）的转轴外壁固定连接有连接长板（891），所述连接长板（891）的底部固定连接有三角块（89）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海芯立电子科技有限公司，其通讯地址为：200120 上海市浦东新区宣桥镇宣春路182号7幢1层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。