绍兴鑫艺智能科技有限公司刘春芳获国家专利权
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龙图腾网获悉绍兴鑫艺智能科技有限公司申请的专利一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120134111B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510602761.2,技术领域涉及:B24B5/50;该发明授权一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置是由刘春芳;谢菲;孙恩齐设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,涉及半导体生产技术领域,包括加工板,所述加工板的顶部固定安装有放置板,所述加工板的顶部固定贯穿有线性驱动机构,所述线性驱动机构的移动端顶部固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定安装有装载板,所述装载板远离驱动电机的一端固定贯穿有打磨机构,还包括夹持装置;其中,夹持装置包括电动推杆、搭载板、T形杆、一号弹簧、橡胶板、升降板、一号弹片、两个衔接杆、弧形条和支撑杆,通过加工板施加的支撑力提高打磨的稳定性,再用弧形条对硅晶圆柱施加压力,确保打磨过程中硅晶圆柱不会发生偏转影响打磨效果。
本发明授权一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体生产用硅晶圆柱加工磨削装置,包括加工板(1),其特征在于:还包括夹持装置、防尘装置和锁定装置,所述加工板(1)的顶部固定安装有放置板(2),所述加工板(1)的顶部固定贯穿有线性驱动机构(3),所述线性驱动机构(3)的移动端顶部固定安装有驱动电机(4),所述驱动电机(4)的输出端固定安装有装载板(5),所述装载板(5)远离驱动电机(4)的一端固定贯穿有打磨机构(6),所述加工板(1)的顶部开设有滑槽; 其中,夹持装置包括电动推杆(7)、搭载板(8)、T形杆(9)、一号弹簧(10)、橡胶板(11)、升降板(12)、一号弹片(13)、两个衔接杆(14)、弧形条(15)和支撑杆(16),所述电动推杆(7)固定安装在加工板(1)的顶部,所述搭载板(8)固定安装在电动推杆(7)的输出端,所述T形杆(9)滑动贯穿在搭载板(8)远离电动推杆(7)的一面,所述一号弹簧(10)设置在T形杆(9)与搭载板(8)之间,所述橡胶板(11)固定安装在T形杆(9)远离搭载板(8)的一面,所述升降板(12)滑动贯穿在搭载板(8)的顶部,所述一号弹片(13)设置在升降板(12)与搭载板(8)之间,两个所述衔接杆(14)固定安装在升降板(12)远离电动推杆(7)的一面,所述弧形条(15)设置在衔接杆(14)远离升降板(12)的两端,所述支撑杆(16)固定安装在升降板(12)的底部,所述支撑杆(16)滑动贯穿在搭载板(8)的底部,所述橡胶板(11)远离搭载板(8)的一面开设有波纹一; 所述防尘装置包括移动框(161)、玻璃罩(162)、矩形板(163)、二号弹片(164)、接触板(165)、限位板(166)、圆柱块(167)、弹性片(168)和圆杆(169),所述移动框(161)滑动安装在滑槽的顶部,所述玻璃罩(162)固定安装在移动框(161)的内部,所述矩形板(163)滑动安装在移动框(161)的内壁,所述二号弹片(164)设置在矩形板(163)与移动框(161)之间,所述接触板(165)固定安装在矩形板(163)的底部,所述限位板(166)固定安装在移动框(161)的外壁,所述圆柱块(167)固定安装在矩形板(163)的表面,所述弹性片(168)固定安装在移动框(161)的内壁,所述圆杆(169)固定安装在移动框(161)的内壁。
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