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龙图腾网获悉成都超迈光电科技有限公司申请的专利一种脉冲磁控溅射镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120350353B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510628722.X，技术领域涉及：C23C14/56；该发明授权一种脉冲磁控溅射镀膜装置是由张松林;周君君;王超设计研发完成，并于2025-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种脉冲磁控溅射镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明涉及脉冲磁控溅射技术领域，具体为一种脉冲磁控溅射镀膜装置，包括真空腔室，所述真空腔室内设置有基片和磁控溅射源，所述真空腔室外接真空发生装置；真空插板阀，连通于所述真空腔室的左端，所述真空腔室的左侧通过真空插板阀连通有真空过渡腔室，所述真空过渡腔室的左端连通有密封管，所述密封管的左端可拆卸连接有活动管；操作管，设置于所述活动管内部且穿过真空过渡腔室并延伸至真空腔室内的操作管，所述基片设置于所述操作管的前端部；所述活动管和密封管的相对端均向外形成环形耳板。该脉冲磁控溅射镀膜装置，实现真空腔室在不失真空的情况下，将基片取出进行更换，提高了连续生产的效率。

本发明授权一种脉冲磁控溅射镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种脉冲磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括： 真空腔室（1），所述真空腔室（1）内设置有基片（2）和磁控溅射源（3），所述真空腔室（1）外接真空发生装置（4）； 真空插板阀（5），连通于所述真空腔室（1）的左端，所述真空腔室（1）的左侧通过真空插板阀（5）连通有真空过渡腔室（6），所述真空过渡腔室（6）的左端连通有密封管（7），所述密封管（7）的左端可拆卸连接有活动管（8）； 操作管（9），设置于所述活动管（8）的内部且穿过真空过渡腔室（6）并延伸至真空腔室（1）内的操作管（9），所述基片（2）设置于所述操作管（9）的前端部； 所述活动管（8）和密封管（7）的相对端均向外形成环形耳板（10），一对环形耳板（10）通过KF卡箍（11）连接，一对所述环形耳板（10）的相对面均固定有截面为半圆的挤压环（12），所述操作管（9）的外周滑动连接有过渡管（13），所述过渡管（13）的外周套设有密封套（14），所述密封套（14）的两边分别与活动管（8）和密封管（7）固定，所述密封套（14）的外周凹陷处套设有O型圈（15），且所述过渡管（13）的右端面与操作管（9）右端外周之间还密封连接有真空焊接伸缩波纹管（16）。

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