杭州谱析光晶半导体科技有限公司许一力获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州谱析光晶半导体科技有限公司申请的专利一种MOSFET器件及制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120187073B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510645699.5,技术领域涉及:H10D30/66;该发明授权一种MOSFET器件及制造方法是由许一力;李鑫;刘倩倩设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MOSFET器件及制造方法在说明书摘要公布了:本发明涉及MOS半导体技术领域,且公开了一种MOSFET器件及制造方法,包括由若干个相互并列的MOS元胞构成,单个所述MOS元胞包括漏极、源极、栅极、介质层以及半导体外延层,所述半导体外延层包括N衬底层、N漂移层、负载P+层、P阱层和N阱层,所述P阱层包括P阱一层和P阱二层,并且P阱一层和P阱二层的截面轮廓均呈“L”字形状;所述P阱一层和P阱二层之间设有导电介质,所述栅极还包括有U型栅,其中U型栅的开口向下,所述U型栅的开口内填充有高K介质。本发明通过通过U型栅结构填充高k介质,增大了栅极对沟道的控制面积,显著降低漏电流,同时保持高栅电容,提升器件的开关速度和能效比。
本发明授权一种MOSFET器件及制造方法在权利要求书中公布了:1.一种MOSFET器件,包括由若干个相互并列的MOS元胞构成,单个所述MOS元胞包括漏极(1)、源极(2)、栅极(3)、介质层(4)以及半导体外延层,所述半导体外延层包括N衬底层(5)、N漂移层(6)、负载P+层(7)、P阱层和N阱层(10),其特征在于:所述P阱层包括P阱一层(8)和P阱二层(9),并且P阱一层(8)和P阱二层(9)的截面轮廓均呈“L”字形状;所述P阱一层(8)和P阱二层(9)之间设有导电介质(11); 所述栅极(3)还包括有U型栅(31),其中U型栅(31)的开口向下; 所述U型栅(31)的开口内填充有高K介质(12)。
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