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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利上研磨抛光盘系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120190703B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510678379.X，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权上研磨抛光盘系统是由党金行;寇明虎设计研发完成，并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本上研磨抛光盘系统在说明书摘要公布了：本申提供一种上研磨抛光盘系统，涉及半导体加工技术领域，包括上研磨抛光盘、盘体单元、盘盖单元、盘芯单元及连接套；上研磨抛光盘固装于盘体单元的下方；盘盖单元固连于盘体单元的上方，且盘盖单元与盘体单元之间形成空腔；盘芯单元被包裹在空腔内；连接套一端用于固连于一安装基础上，另一端与盘芯单元的中部固连；盘芯单元包括第一磁性模块，盘盖单元的下表面和盘体单元的上表面二者至少之一设有用于与第一磁性模块形成磁性配合的第一磁性元件；通过控制第一磁性模块和或第一磁性元件的磁极方向和二者之间的磁场强度，以控制盘芯单元施加于盘盖单元和盘体单元的磁力方向和磁力值。提高了对晶圆压力的调节范围、控制精度及研磨抛光质量。

本发明授权上研磨抛光盘系统在权利要求书中公布了：1.一种上研磨抛光盘系统，其特征在于，包括上研磨抛光盘、盘体单元、盘盖单元、盘芯单元及连接套； 所述上研磨抛光盘固装于所述盘体单元的下方； 所述盘盖单元固连于所述盘体单元的上方，且所述盘盖单元与所述盘体单元之间形成空腔； 所述盘芯单元被包裹在所述空腔内； 所述连接套一端用于固连于一安装基础上，另一端穿过所述盘盖单元与所述盘芯单元的中部固连； 所述盘芯单元包括第一磁性模块，所述盘盖单元的下表面和所述盘体单元的上表面二者至少之一设有用于与所述第一磁性模块形成磁性配合的第一磁性元件； 通过控制所述第一磁性模块和或所述第一磁性元件的磁极方向和二者之间的磁场强度，以控制所述盘芯单元施加于所述盘盖单元和盘体单元的磁力方向和磁力值，进而控制所述上研磨抛光盘向下施加的下压力值； 所述盘芯单元还包括盘芯体，所述第一磁性模块为多组，多组所述第一磁性模块内嵌于所述盘芯体，多组所述第一磁性模块在所述盘芯体上以所述盘芯体的中心呈放射状分布； 所述盘盖单元还包括盘盖体，所述盘体单元还包括盘体；所述盘盖单元和或所述盘体单元的所述第一磁性元件为多组，多组所述第一磁性元件嵌装在所述盘盖体的下表面和或所述盘体的上表面、呈多个同心圆环结构； 所述盘芯单元的中心部位固设有凸起套，所述凸起套与所述连接套固定连接； 所述凸起套内设有定心单元，所述定心单元包括定心轴和调心轴承，所述定心轴沿所述凸起套的轴线方向设置，所述调心轴承套装在所述定心轴上，所述调心轴承的内圈与所述定心轴固定，所述调心轴承的外圈能够在所述凸起套内上下滑动； 所述定心单元还包括第二磁性模块和第二磁性元件，所述第二磁性元件与所述定心轴固定连接，所述第二磁性模块与所述盘芯单元固定连接；所述第二磁性模块与所述第二磁性元件为耦合副，所述第二磁性模块与所述第二磁性元件之间设有间隙。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京特思迪半导体设备有限公司，其通讯地址为：101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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