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合肥晶合集成电路股份有限公司孙姗姗获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥晶合集成电路股份有限公司申请的专利生产机台的工作参数异常检测方法、装置、计算机设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120354316B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510828941.2,技术领域涉及:G06F18/2433;该发明授权生产机台的工作参数异常检测方法、装置、计算机设备是由孙姗姗;谢海燕设计研发完成,并于2025-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。

生产机台的工作参数异常检测方法、装置、计算机设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种生产机台的工作参数异常检测方法、装置、计算机设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。方法包括:获取目标机台在生产目标晶圆过程中的目标工作参数的多个数据点;在预设坐标系下,基于多个数据点形成第一边缘线以及第二边缘线,预设坐标系以数据点的进点序数为第一坐标轴,且以目标工作参数值为第二坐标轴;计算第一边缘线与第二边缘线之间的区域的区域面积;基于区域面积,确定目标机台在生产目标晶圆过程中的目标工作参数异常情况。采用本方法能够在目标机台的目标工作参数异常时,有效卡控拦截其生产的目标晶圆。

本发明授权生产机台的工作参数异常检测方法、装置、计算机设备在权利要求书中公布了:1.一种生产机台的工作参数异常检测方法,其特征在于,包括: 获取目标机台在生产目标晶圆过程中的目标工作参数的多个数据点; 在预设坐标系下,基于所述多个数据点形成第一边缘线以及第二边缘线,所述预设坐标系以所述数据点的进点序数为第一坐标轴,且以目标工作参数值为第二坐标轴; 计算第一边缘线与第二边缘线之间的区域的区域面积; 基于所述区域面积,确定所述目标机台在生产目标晶圆过程中的目标工作参数异常情况; 所述在预设坐标系下,基于所述多个数据点形成第一边缘线以及第二边缘线,包括: 在所述多个数据点中,确定多个上拐点以及多个下拐点;其中,所述多个上拐点用于形成所述第一边缘线,所述多个下拐点用于形成所述第二边缘线。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥晶合集成电路股份有限公司,其通讯地址为:230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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