上海优睿谱半导体设备有限公司孙剑获国家专利权
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龙图腾网获悉上海优睿谱半导体设备有限公司申请的专利一种基于多通道C扫描的晶圆检测⽅法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120427748B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510919488.6，技术领域涉及：G01N29/06；该发明授权一种基于多通道C扫描的晶圆检测⽅法及系统是由孙剑;余先育;唐德明;张兴华设计研发完成，并于2025-07-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于多通道C扫描的晶圆检测⽅法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基于多通道C扫描的晶圆检测方法及系统，旨在解决传统系统中多通道灵敏度差异、Z轴高度偏差及拼接伪影等问题。检测前选取标准片最大缺陷点与无缺陷点，调节各通道增益至统一幅值并记录回波幅度，实现灵敏度校准；检测中利用激光位移传感器实时采集晶圆表面高度数据，结合ARIMA+Kalman滤波或高斯过程回归算法建模，通过PID反馈动态调节Z轴聚焦距离，补偿表面翘曲导致的信号衰减；图像拼接时，采用线性自适应、Gamma自适应（基准γ设定后自动对齐通道均值）及手动设定三种灰度映射方式优化通道响应，基于二维互相关函数计算亚像素级偏移量实现坐标对齐，并在通道交界处设置5%重叠区域，通过线性渐变权重加权平均完成灰度过渡。
本发明授权一种基于多通道C扫描的晶圆检测⽅法及系统在权利要求书中公布了：1.一种基于多通道C扫描的晶圆检测方法，其特征在于，包括： 通过确定各通道最大回波幅度，依次调节各通道的增益到指定幅值； 在开始扫描后，通过建立各通道预梯度曲线，结合各通道实际曲线得到Z轴调节补偿量，根据Z轴调节补偿量动态调节Z轴高度，并得到各通道的扫描结果； 针对各通道的扫描结果进行灰度一致性优化；以及 通过各通道的扫描结果最小缺陷区域的缺陷图像得到各通道间的拼接偏移量，并根据拼接偏移量进行拼接坐标对齐。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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