中北大学耿文平获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学申请的专利高灵敏宽量程的压电式压力传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120489391B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510968710.1,技术领域涉及:G01L1/16;该发明授权高灵敏宽量程的压电式压力传感器是由耿文平;丑修建;乔骁骏;魏浩然;潘飞宇;汪子涵设计研发完成,并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本高灵敏宽量程的压电式压力传感器在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体压电测量技术领域,具体涉及一种高灵敏宽量程的压电式压力传感器,主要解决现有压电式压力传感器灵敏度与绝缘性不可兼得的技术问题。本压电式压力传感器包括:金属壳体,其形成有环形的安装腔;压敏单元,其压置于安装腔内且包括两个晶圆片和一个电极片,电极片夹设于两个晶圆片之间,晶圆片为在经过极化处理的铁电晶体的两端面生长绝缘层所形成的三明治结构;连接器,其包括管状接头和同轴固定在管状接头内的中轴,管状接头与金属壳体电气连接,中轴与电极片电气连接。本压电式压力传感器不但具有高灵敏度的特性,而且绝缘层的设置也会使传感器输出的绝缘电阻得到有效提升,从而能够实现在准静态条件下的稳定输出。
本发明授权高灵敏宽量程的压电式压力传感器在权利要求书中公布了:1.一种高灵敏宽量程的压电式压力传感器,其特征在于,包括: 金属壳体(1),其形成有环形的安装腔(11),且所述安装腔(11)的侧壁上设有安装窗口(12); 压敏单元(2),其压置于所述安装腔(11)内且包括两个晶圆片(21)和一个电极片(22),所述晶圆片(21)和电极片(22)皆为环形且同轴布置,所述电极片(22)夹设于两个晶圆片(21)之间,所述晶圆片(21)为在经过极化处理的铁电晶体的两端面生长绝缘层所形成的三明治结构; 连接器(3),其包括管状接头(31)和同轴固定在管状接头(31)内的中轴(32),所述管状接头(31)固定在所述安装窗口(12)处且与金属壳体(1)电气连接,所述中轴(32)与所述管状接头(31)电气隔离且与所述电极片(22)电气连接; 所述金属壳体(1)包括环形底座(13)、环形压盖(14)和外圈(15),所述环形底座(13)与环形压盖(14)同轴布置且上下相隔以形成所述安装腔(11),所述压敏单元(2)压置于所述环形底座(13)和环形压盖(14)之间,所述外圈(15)套接在所述环形底座(13)的外圆面和环形压盖(14)的外圆面上,所述安装窗口(12)开设于所述外圈(15)上;所述环形底座(13)的上表面内边缘向上凸设形成内筒(16),所述内筒(16)的顶部套接在所述环形压盖(14)的内圆面上,所述压敏单元(2)与所述内筒(16)电气隔离。
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