中铜华中铜业有限公司臧经梅获国家专利权
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龙图腾网获悉中铜华中铜业有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120485565B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510972234.0,技术领域涉及:C22C1/02;该发明授权一种磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板及其制备方法是由臧经梅;陈忠平;曾丽卿;张武;鲁浩;惠荣瑞;杨占雄;蒋强;冉竞优;潘菲;武俊设计研发完成,并于2025-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板及其制备方法,按重量百分比计,磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板Cu含量≥99.997%,O含量为1~3ppm,Fe含量≤5ppm,P含量≤5ppm,余量为不可避免的杂质元素;制备时,首先对纯铜厚板进行烘烤,再送入熔炼炉中熔炼,通过以氧抑氢和氧化的方式将铜液中杂质元素和氢气去除,再采用木炭覆盖和底吹一氧化碳除氧,然后进行保温炉精炼和垂直全连铸铸造,最后在热轧机上进行12道次轧制即得;本发明通过精确控制加热温度、保温时间、轧制道次和变形量,确保了最终产品的晶粒尺寸大小、均匀和表面质量,减少了内部缺陷,制备的纯铜厚板具有极高的铜含量和极低的氧含量,为行业的发展提供了重要的材料支持。
本发明授权一种磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种磁控溅射镀膜用超低氧含量纯铜厚板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤S1:将铜含量≥99.9935%的高纯阴极铜板进行烘烤;所述烘烤温度为400~450℃,烘烤时间为100~150s; 步骤S2:将烘烤后高纯阴极铜板加入到熔炼炉中进行熔炼,熔炼过程底吹增氧,增氧后的氧含量控制在400~600ppm;通过以氧抑氢和氧化方式将铜液中杂质元素和氢气去除,得到第一次中间熔体; 步骤S3:将第一次中间熔体进行木炭覆盖,并底吹一氧化碳同时除氧,控制氧含量在10~20ppm,然后依次加入CuP和CuMg中间合金,通过氧化反应,进一步去除氧,将氧含量控制在1~3ppm,得到第二次中间熔体; 步骤S4:将第二次中间熔体在密封环境下转炉到保温炉,然后通过保温炉通气砖底吹氩气进一步精炼,得到合格铜熔体;所述保温炉温度为1150~1180℃,氩气露点值为-70℃~-74℃; 步骤S5:将合格铜熔体通过浇注管进行垂直全连铸铸造,并控制二冷区的冷却水量为720-780Lmin,得到铜铸锭; 步骤S6:将铜铸锭在步进式加热炉中加热和保温,所述步进炉的加热温度为750~800℃,保温时间为5~6h;然后在热轧机上进行12道次轧制,接着进行脱脂、清洗和烘干,得到超低氧含量纯铜厚板成品;所述12道次轧制为在热轧机上热轧11道次并立即水冷后进行1道次冷轧,11道次热轧工艺的厚度加工率为9%→12.00%→15%→17%→20%→20%→24%→22%→21%→19%→10.00%;第12道次的道次厚度变形量为6~8%,水冷后板材温度≤50℃。
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