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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利一种终点检测系统在线校准方法及其装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120497180B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510976308.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种终点检测系统在线校准方法及其装置是由张黎明;丁亮亮;肖亦然;郭军涛;云燕午;唐凯设计研发完成，并于2025-07-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种终点检测系统在线校准方法及其装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种终点检测系统在线校准方法及其装置，其中所述方法包括通过终点检测系统获取刻蚀或薄膜设备腔体内第一光谱信号数据；对第一光谱信号数据进行处理，得到第一有效数据。将第一有效数据与标准数据库中预设物质的特征峰值对比，得到波长误差；再根据波长误差判断终点检测系统是否需要校准。本发明通过工艺中的在线检测实时判断是否需要对终点检测系统进行在线校准，提高了终点检测系统的检测精准度与可靠性。更为重要的是，通过该方法无需将终点检测系统与刻蚀或薄膜设备腔体拆卸，在工艺过程中进行实时判断与在线校准，从而提高了校准的效率，且避免了拆卸和装机过程中对其造成不必要的损伤，保证了半导体工艺生产效率。

本发明授权一种终点检测系统在线校准方法及其装置在权利要求书中公布了：1.一种终点检测系统在线校准的方法，应用于半导体刻蚀或薄膜设备工艺过程中，其特征在于，包括： 通过终点检测系统在线获取刻蚀或薄膜设备腔体内第一光谱信号数据； 对所述第一光谱信号数据进行处理，得到第一有效数据； 将所述第一有效数据与标准数据库中预设物质的特征峰值进行对比，得到波长误差； 根据所述波长误差对所述终点检测系统的在线校准进行判断； 当所述终点检测系统需要进行校准时，进行如下步骤： 通过所述终点检测系统在线获取刻蚀或薄膜设备腔体内的第二光谱信号数据； 对所述第二光谱信号数据进行处理，得到第二有效数据； 获取所述第二有效数据在探测器上所对应像素点的位置编号，并对所述像素点的位置编号进行记录； 通过对所述像素点的位置编号和标准谱的波长进行回归分析，得到回归系数； 将所述回归系数和所述像素点的位置编号对应数值带入回归方程中计算，得到每个所述像素点的波长值； 根据所述波长值和对应所述像素点的关系对所述终点检测系统进行在线校准； 其中，所述终点检测系统包括所述探测器，且所述探测器与所述刻蚀或薄膜设备腔体连接用于接收所述刻蚀或薄膜设备腔体内的等离子体的发光信号，且所述探测器上设置有所述像素点。

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