上海芯源微企业发展有限公司宋宣颉获国家专利权
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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120545234B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511020864.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置是由宋宣颉;彭博;董志强;王荣祥;李爽;肖静;赵琦设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置，基板搬运装置包括搬运机器人，搬运机器人包括手指模组，手指模组包括手指，手指包括固定组件和活动组件，所述固定组件和所述活动组件均具有第一夹紧件和第二夹紧件以及用于安装第一夹紧件以及第二夹紧件的承载件，活动组件的承载件位于第一位置时，固定组件的第一夹紧件和活动组件的第二夹紧件用于固定基板，活动组件的承载件位于第二位置时，固定组件的第二夹紧件和活动组件的第一夹紧件用于固定基板，该基板搬运装置能够满足使用手指的不同部位固定处理前、后的基板，减少或者避免了接触处理前基板的手指污染处理后的基板的概率，提高了产品良率。
本发明授权基板搬运装置、搬运方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板搬运装置，其特征在于： 包括搬运机器人，所述搬运机器人包括手指模组，所述手指模组包括手指，所述手指包括固定组件和活动组件； 所述固定组件和所述活动组件均具有第一夹紧件和第二夹紧件以及用于安装所述第一夹紧件以及所述第二夹紧件的承载件，所述活动组件的承载件能够运动至第一位置和第二位置，所述活动组件的承载件位于所述第一位置时，所述固定组件的第一夹紧件和所述活动组件的第二夹紧件用于固定基板，所述活动组件的承载件位于所述第二位置时，所述固定组件的第二夹紧件和所述活动组件的第一夹紧件用于固定基板。
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