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龙图腾网获悉香港科技大学(广州)申请的专利一种EBL进出料组件和EBL作业系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120527286B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511021500.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种EBL进出料组件和EBL作业系统是由王冠初;吴朝阳;曾祥军;李艺杰;李季;徐巍设计研发完成，并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种EBL进出料组件和EBL作业系统在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种EBL进出料组件和EBL作业系统。其中，EBL进出料组件包括第一腔室、第二腔室、移栽机构、第一作业机械手。第一腔室设置有能够开闭的第一门体和第二门体；第二腔室与所述第一腔室相邻设置，且第二腔室内设置有清洁机构。第一门体开启时，第一腔室与外部连通，此时样品能够送入第一腔室内。在第二门体开启时，第一腔室与所述第二腔室连通，此时样品能够从第一腔室进入第二腔室内。在样品在第一腔室和第二腔室之间转运的过程中，仅开启第二门体并保持第一门体为关闭状态，使得第二腔室在进样和出样过程中均不需直接与外部连通，从而降低第二腔室中清洁机构的调节压力和减少其调节时间。

本发明授权一种EBL进出料组件和EBL作业系统在权利要求书中公布了：1.一种EBL进出料组件，其特征在于，包括：第一腔室（100）、第二腔室（200）、移栽机构（300）、第一作业机械手（410）； 所述第一腔室（100）设置有能够开闭的第一门体（110）和第二门体（120）； 所述第二腔室（200）与所述第一腔室（100）相邻设置，且所述第二腔室（200）内设置有清洁机构； 所述第一门体（110）开启时，所述第一腔室（100）与外部连通； 所述第二门体（120）开启时，所述第一腔室（100）与所述第二腔室（200）连通； 在所述第一腔室（100）进样时，所述第一门体（110）开启且所述第二门体（120）关闭，以使样片从所述第一门体（110）进入所述第一腔室（100）内； 在所述第二腔室（200）进样时，所述第二门体（120）开启且所述第一门体（110）关闭，以使所述样片从所述第一腔室（100）进入所述第二腔室（200）； 在所述第二腔室（200）出样时，所述第二门体（120）开启且所述第一门体（110）关闭，以使所述样片从所述第二腔室（200）进入所述第一腔室（100）； 在所述第一腔室（100）出样时，所述第一门体（110）开启且所述第二门体（120）关闭，以使所述样片从所述第一门体（110）离开所述第一腔室（100）； 所述移栽机构（300）设置于所述第一腔室（100）内，用于在所述第一腔室（100）和所述第二腔室（200）之间转运所述样片； 所述第一作业机械手（410）设置于所述第二腔室（200）内，用于将所述样片从所述移栽机构（300）中取下或将所述样片放置于所述移栽机构（300）上； 所述移栽机构（300）包括：支撑座（310）与托盘（320）； 所述托盘（320）用于托举所述样片； 所述支撑座（310）设置于所述第一腔室（100）内； 所述托盘（320）沿第一方向能够往复移动地设置于所述支撑座（310）上； 所述第一腔室（100）和所述第二腔室（200）沿所述第一方向排布； 所述支撑座（310）能够带动所述托盘（320）升降； 所述第一腔室（100）内设置有样片架（130）； 所述样片架（130）用于放置所述样片； 所述移栽机构（300）用于将所述样片架（130）上的所述样片移送至所述第二腔室（200）内，或用于将所述样片从所述第二腔室（200）移送至所述样片架（130）； 所述样片架（130）设置有多个样片撑板（131）； 所述样片撑板（131）用于供所述样片放置； 多个所述样片撑板（131）沿竖直方向间隔设置； 所述样片撑板（131）中部设置有镂空槽（132）； 所述托盘（320）能够从所述镂空槽（132）穿过。

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