芜湖映日科技股份有限公司曾墩风获国家专利权
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龙图腾网获悉芜湖映日科技股份有限公司申请的专利一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120518390B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511029821.2，技术领域涉及：C04B35/453；该发明授权一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法是由曾墩风;王志强;曾探;鄢波;陈光园设计研发完成，并于2025-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及靶材制造技术领域，尤其涉及一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法。本发明的高密度低温烧结IGZO靶材由氧化铟、氧化镓、氧化锌粉末与磷钨酸离子液体修饰的石墨烯经球磨、压制和烧结制成，其中磷钨酸离子液体修饰的石墨烯的制备步骤如下：首先将氧化石墨烯溴化，再与咪唑反应生成咪唑修饰层，继而与溴代正己烷形成咪唑盐，最终通过磷钨酸离子交换构建稳定复合结构。本发明的高密度低温烧结IGZO靶材，相较于传统工艺，本发明在保持低温烧结优势的同时，解决了导电性、机械强度与致密度的协同优化难题，为高性能透明导电薄膜提供了更优质的靶材解决方案。
本发明授权一种高密度低温烧结IGZO靶材及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高密度低温烧结IGZO靶材，其特征在于，所述IGZO靶材是由氧化铟粉末、氧化镓粉末和氧化锌粉末混合成原料粉末，随后将原料粉末、磷钨酸离子液体修饰的石墨烯以及无水乙醇混合后经球磨，压制，烧结得到； 所述磷钨酸离子液体修饰的石墨烯是先通过溴化石墨烯和咪唑在氮气氛围下制备咪唑修饰的石墨烯，随后将咪唑修饰的石墨烯和溴代正己烷进行反应，得到咪唑盐修饰的石墨烯，最后将咪唑盐修饰的石墨烯和磷钨酸水合物进行离子交换而得到； 所述原料粉末、磷钨酸离子液体修饰的石墨烯与无水乙醇的重量比为50-60:1-2:40-50； 所述氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锌粉末的摩尔比为1:1:4。
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