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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利用于等离子体发生器的自动换靶装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120519810B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511036897.8，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权用于等离子体发生器的自动换靶装置是由张超;张陈斌;丁聪;姜鑫磊;宋永辉;王世宽设计研发完成，并于2025-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于等离子体发生器的自动换靶装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种用于等离子体发生器的自动换靶装置，包括固定件、第一驱动组件、第二驱动组件、传送组件和拆装机构，通过固定件连接等离子体发生器的外壳，配合第一驱动组件驱使外壳往返于工作工位与换靶工位、第二驱动组件实现外壳升降，替代了人工抬升和移动外壳的操作；通过传送组件在换靶工位转移新、旧靶材，以及拆装机构中与螺丝一一对应的螺丝刀、旋转驱动组件和升降驱动组件，实现了螺丝的自动拆卸与锁紧、及靶材的自动更替，替代了人工对准、拆卸螺丝、更换靶材的分步操作，解决了人工操作耗时久、工序割裂的问题，能够缩短设备停机时间、避免因停机中断生产节拍导致的晶圆良率降低及单位制造成本增加。

本发明授权用于等离子体发生器的自动换靶装置在权利要求书中公布了：1.一种用于等离子体发生器的自动换靶装置，其特征在于，包括： 固定件（11），用于连接等离子体发生器的外壳（1）； 第一驱动组件（21），用于驱使所述固定件（11）携所述外壳（1）往返于工作工位和换靶工位，在所述工作工位，所述外壳（1）能够与工艺腔体（3）连接、以便进行晶圆的工艺处理，在所述换靶工位，所述外壳（1）能够与靶材（2）分离； 第二驱动组件（22），用于驱使所述固定件（11）携所述外壳（1）做升降运动； 传送组件（23），设于所述换靶工位，所述传送组件（23）用于承接靶材（2）的传送面上设有避位孔（23d）； 拆装机构，设于所述换靶工位、位于所述传送组件（23）下方，所述拆装机构包括： 多把螺丝刀（31），所述螺丝刀（31）与连接所述外壳（1）和所述靶材（2）的螺丝一一对应，所述螺丝刀（31）内设有磁铁，能够吸住卸下的螺丝； 升降驱动组件，用于驱使所述螺丝刀（31）升降； 旋转驱动组件，用于驱使所述螺丝刀（31）旋转； 换靶时，所述第二驱动组件（22）驱使所述固定件（11）携所述外壳（1）上升，使得所述外壳（1）脱离所述工艺腔体（3），所述第一驱动组件（21）驱使所述固定件（11）携所述外壳（1）朝向所述换靶工位运动； 所述外壳（1）到达所述换靶工位后，所述避位孔（23d）、所述螺丝刀（31）与连接所述外壳（1）和所述靶材（2）的螺丝一一对应； 所述升降驱动组件驱使所述螺丝刀（31）上升，所述螺丝刀（31）能够穿过所述避位孔（23d）、作用于所述螺丝； 所述旋转驱动组件驱使所述螺丝刀（31）旋转，所述螺丝刀（31）能够卸下所述螺丝； 所述升降驱动组件驱使所述螺丝刀（31）携所述螺丝下降，以便所述传送组件（23）转移拆下的旧靶材、送入新靶材； 所述升降驱动组件驱使所述螺丝刀（31）携所述螺丝上升，配合所述旋转驱动组件，所述螺丝能够锁紧所述新靶材和所述外壳（1）。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡尚积半导体科技股份有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。