连云港盛泉石英科技有限公司徐丙冉获国家专利权
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龙图腾网获悉连云港盛泉石英科技有限公司申请的专利一种半导体石英管内置式推片装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120565467B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511063439.3,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种半导体石英管内置式推片装置是由徐丙冉;徐丙杰;李刚设计研发完成,并于2025-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体石英管内置式推片装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体石英管内置式推片装置,涉及推片技术领域,包括抗压板,所述抗压板的顶部靠近一侧边缘处设置用于对石英管进行高温处理的检测组件,所述检测组件包括有石英管本体和推片本体。该一种半导体石英管内置式推片装置,当需要使用推片装置将硅片推入到石英管内部加热时,先将测试硅片插入到石英管本体的内部,并通过红外热像仪检测石英管本体内的恒温区,并通过推片本体确定恒温区的位置,然后即可将需要加热的硅片插入到该恒温区进行加热,使得半导体石英管内置式推片装置在将硅片推入到石英管本体内部时,可精确检测到石英管本体内的恒温区。
本发明授权一种半导体石英管内置式推片装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体石英管内置式推片装置,包括抗压板(1),所述抗压板(1)的顶部靠近一侧边缘处设置用于对石英管进行高温处理的检测组件(2),所述检测组件(2)包括有石英管本体(203)和推片本体(204),所述抗压板(1)的顶部靠近另一侧边缘处设置移动旋转组件(3),所述移动旋转组件(3)包括有移动架(304),其特征在于:所述移动旋转组件(3)的顶部设置定位组件(4),所述定位组件(4)包括有两个石英舟(401),其中一个所述石英舟(401)的内壁设置用于检测石英管本体(203)内恒温区具体位置的红外热像仪(408),另一个所述石英舟(401)的外表面设置用于检测该石英舟(401)外表面是否与推片本体(204)接触的压力传感器(414); 所述移动旋转组件(3)的外表面设置用于推动两个石英舟(401)向石英管本体(203)内移动的推动组件(5),所述推动组件(5)包括有用于分别与两个石英舟(401)连接的十字块(517),所述十字块(517)的外表面固定有用于推动两个石英管本体(203)向前移动的螺纹杆(513),所述螺纹杆(513)的外表面螺纹套设有用于驱动十字块(517)旋转的内螺管(514)。
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