连云港盛泉石英科技有限公司徐丙冉获国家专利权
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龙图腾网获悉连云港盛泉石英科技有限公司申请的专利一种多级支撑式石英舟固定载具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120581500B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511086561.2,技术领域涉及:H01L21/687;该发明授权一种多级支撑式石英舟固定载具是由徐丙冉;徐丙杰;李刚设计研发完成,并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多级支撑式石英舟固定载具在说明书摘要公布了:本发明公开了一种多级支撑式石英舟固定载具,涉及石英材料产品加工技术领域,包括底座,底座的顶部固定安装有载具架,还包括:固定组件,设置在底座的顶部两侧,固定组件包括固定架,定位组件,设置在载具架的两侧,固定架,对称安装在底座的顶部两侧,两个固定架的外部上方均滑动连接有活动板,且活动板的一侧对称安装有连接架,并且载具架的上方设置有定位板,同时定位板的底部设置有玻璃纤维层;使得在对石英舟进行固定时,可以对石英舟进行多点固定,且可以对石英舟上放置的硅片进行固定,并且在固定过程中可以对石英舟进行校准,使得石英舟可以处于载具架的中心处,避免石英舟固定位置产生偏移,避免影响后续加工质量。
本发明授权一种多级支撑式石英舟固定载具在权利要求书中公布了:1.一种多级支撑式石英舟固定载具,包括底座(1),所述底座(1)的顶部固定安装有载具架(101); 其特征在于,还包括: 固定组件(2),设置在底座(1)的顶部两侧,所述固定组件(2)包括固定架(201); 定位组件(3),设置在载具架(101)的两侧; 固定架(201),对称安装在底座(1)的顶部两侧,两个所述固定架(201)的外部上方均滑动连接有活动板(202),且所述活动板(202)的一侧对称安装有连接架(203),并且所述载具架(101)的上方设置有定位板(102),同时所述定位板(102)的底部设置有玻璃纤维层,而且所述定位板(102)的两侧对称安装有安装板(204); 移动板(205),滑动连接在固定架(201)外部且位于活动板(202)的上方,所述移动板(205)的内部对称滑动连接有活动杆(206),且两个所述活动杆(206)的外部上方均套设有伸缩弹簧(207),并且所述活动杆(206)的顶端固定安装有固定块(208),同时所述伸缩弹簧(207)的两端分别与固定块(208)和移动板(205)固定连接,而且所述安装板(204)的顶部对称开设有连接孔(209),且所述活动杆(206)与连接孔(209)适配连接,而且移动板(205)内部位于固定架(201)的一侧对称螺纹连接有定位螺栓。
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