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中科芯微智能装备(沈阳)有限公司常志勇获国家专利权

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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利一种连杆型真空机械手获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120572561B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511086377.8,技术领域涉及:B25J17/02;该发明授权一种连杆型真空机械手是由常志勇;董宏达;侯双明;孟君燕设计研发完成,并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种连杆型真空机械手在说明书摘要公布了:本发明公开了一种连杆型真空机械手,涉及晶圆输送领域,包括:两个相邻且能够独立转动的末端执行部;约束组件,包括至少两个沿第二方向间隔分布且相对设置的约束带,每个所述约束带的一端以不可活动方式连接于其中一个所述约束面的近侧端,另一端以可活动方式连接于另一个所述约束面的远侧端;当第一姿态切换至第二姿态时,约束面的可活动连接侧端产生适应性转动,以维持所述约束带对所述末端执行部的约束力。采用上述方案,约束组件通过两条相互交叉设置的约束带构建出一种“类枢转”结构,使相邻的末端执行部在实现相对摆动的同时具备柔性缓冲功能,显著提高整体设备的动态稳定性和晶圆搬运的传送精度。

本发明授权一种连杆型真空机械手在权利要求书中公布了:1.一种连杆型真空机械手,包括本体(1)及枢转连接于所述本体(1)的手臂(2),其特征在于,还包括: 两个相邻且能够独立转动的末端执行部(232),所述末端执行部(232)设置在所述手臂(2)上并沿第一方向往复运动形成移动路径,两个所述末端执行部(232)彼此相对的面为约束面,所述约束面具有近侧端和远侧端; 约束组件(3),包括至少两个沿第二方向间隔分布且相对设置的约束带,每个所述约束带的一端以不可活动方式连接于其中一个所述约束面的近侧端,另一端以可活动方式连接于另一个所述约束面的远侧端,所述约束带包括第一弯曲部(311)及自第一弯曲部(311)端部延伸的第二弯曲部(312),所述第一弯曲部(311)与第二弯曲部(312)的曲率方向相反,所述第一弯曲部(311)与所述第二弯曲部(312)分别抵接在相对的两个约束面; 其中,所述手臂(2)具有第一姿态和第二姿态,当自所述第一姿态切换至所述第二姿态时,所述第一弯曲部(311)和所述第二弯曲部(312)各自与所述约束面的接触面积发生变化,且所述约束面的可活动连接侧端产生适应性转动,以维持所述约束带对所述末端执行部的约束力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中科芯微智能装备(沈阳)有限公司,其通讯地址为:110027 辽宁省沈阳市经济技术开发区十三号路77-38-B号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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