中国科学院上海技术物理研究所夏辉获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利探测器阵列的层析制样和3D功能电子学结构检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120559277B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-26发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511090523.4，技术领域涉及：G01Q30/20；该发明授权探测器阵列的层析制样和3D功能电子学结构检测方法是由夏辉;黄郑东;张博;李天信设计研发完成，并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本探测器阵列的层析制样和3D功能电子学结构检测方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种探测器阵列的层析制样和3D功能电子学结构检测方法，涉及探测器的量测领域，该方法包括：采用解离工艺对探测器进行逐层解离；采用扫描电容显微镜检测所述探测器解离面的微分电容信号，以解析探测器的三维功能结构。本申请通过沿光敏元弦线的切层方式，实现对红外芯片内部功能结构在横向与纵向上的分析，从而提升解析维度和缺陷可视化能力。
本发明授权探测器阵列的层析制样和3D功能电子学结构检测方法在权利要求书中公布了：1.一种探测器阵列的层析制样和3D功能电子学结构检测方法，其特征在于，所述方法包括： 对目标探测器阵列进行逐层解离处理，获得多个解离面； 采用扫描电容显微镜检测所述探测器阵列解离面的微分电容信号，用于还原探测器内部的三维功能结构； 所述解离面穿过探测器光敏元的不同弦线； 将得到的二维微分电容分布图按顺序堆叠，形成探测器的三维功能结构。
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