朗姆研究公司保罗·孔科拉获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利用于半导体处理的晶片定位基座获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113846314B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110916287.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于半导体处理的晶片定位基座是由保罗·孔科拉;卡尔·利瑟;伊斯瓦·斯里尼瓦桑设计研发完成，并于2017-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体处理的晶片定位基座在说明书摘要公布了：一种组件在用于在晶片上沉积膜的处理室中使用并且包括从中心轴延伸的基座。致动器配置用于控制基座的运动。中心轴在致动器和基座之间延伸，中心轴配置成沿着中心轴线移动基座。升降垫被配置为搁置在基座上并且具有垫顶表面，该垫顶表面被配置为支撑放置在其上的晶片。垫轴在致动器和升降垫之间延伸并控制升降垫的运动。垫轴定位在中心轴内，并且被配置成当基座处于向上位置时将升降垫与基座顶表面分离处理旋转位移。垫轴配置成在第一和第二角度方位之间相对于基座顶表面旋转。
本发明授权用于半导体处理的晶片定位基座在权利要求书中公布了：1.一种在用于在晶片上沉积膜的处理室中使用的组件，其包括： 基座，其具有以中心轴线为中心的基座顶表面； 升降垫，其被配置成支撑放置在所述升降垫的垫顶表面上的所述晶片； 凹部，其位于以中心轴线为中心的所述基座顶表面内，所述凹部具有凹部顶表面，该凹部顶表面被配置为当所述升降垫搁置在所述凹部表面上时支撑所述升降垫；以及 垫轴，所述垫轴从所述升降垫的底部沿着所述中心轴线延伸并且被配置成将所述升降垫从所述基座分离并相对于所述基座旋转所述升降垫； 其中所述升降垫被配置成沿着所述中心轴线从所述基座分离。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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