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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利立式批处理炉组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309935B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010729606.4，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权立式批处理炉组件是由J.弗卢特设计研发完成，并于2020-07-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本立式批处理炉组件在说明书摘要公布了：用于处理晶片的立式批处理炉组件，其包括盒操纵空间、晶片操纵空间以及分隔盒操纵空间和晶片操纵空间的内壁。盒操纵空间设置有盒存放器，其配置为存放多个晶片盒。盒操纵空间还设置有盒操纵器，其配置为在盒存放器和晶片传送位置之间传送晶片盒。所述晶片操纵空间设置有晶片操纵器，其配置为在晶片舟和晶片传送位置中的晶片盒之间传送晶片。所述内壁在晶片传送位置处附近设置有用于晶片盒的晶片传送开口，晶片被传送至晶片盒或从晶片盒传出。盒存放器包括直径在1.1至1.6米之间的盒存放转盘。

本发明授权立式批处理炉组件在权利要求书中公布了：1.一种用于处理晶片的立式批处理炉组件10，包括： 盒操纵空间26，设置有盒存放器和盒操纵器28，所述盒存放器配置为存放设置有多个晶片的多个晶片盒16，所述盒操纵器28配置为在盒存放器和晶片传送位置24之间传送晶片盒16； 晶片操纵空间30，所述晶片操纵空间包括矩形形状，并设置有晶片操纵器32，所述晶片操纵器32配置为在晶片传送位置24中的晶片盒16和晶片舟传送位置34中的晶片舟12之间传送晶片； 内壁20，其将盒操纵空间26和晶片操纵空间30分隔，并且在晶片传送位置24附近设置有用于晶片盒16的晶片传送开口22，晶片被传送至晶片盒16或从晶片盒16传出，其中，所述盒存放器包括直径在1.1至1.6米之间的盒存放转盘18, 第一处理室，用于处理容纳在晶片舟内的晶片； 第二处理室，用于处理容纳在晶片舟内的晶片；以及 单个晶片舟操纵装置，其包括一个可旋转台，所述可旋转台具有多个晶片舟支撑表面，每个晶片舟支撑表面配置为支撑晶片舟，其中，所述可旋转台由致动器围绕基本竖直的中心轴线旋转，以将每个晶片舟支撑表面传送到： 第一晶片舟装载接收位置，在该第一晶片舟装载接收位置，晶片舟操纵装置被构造成从可旋转台竖直地装载晶片舟到第一处理室内和从第一处理室接收晶片舟到可旋转台上；以及 第二晶片舟装载接收位置，在该第二晶片舟装载接收位置，晶片舟操纵装置被构造成从可旋转台竖直地装载晶片舟到第二处理室内和从第二处理室接收晶片舟到可旋转台上， 其中所述盒存放转盘包括被配置成容纳5个或更多个晶片盒的平台级， 其中，所述立式批处理炉组件设置有矩形的覆盖区，所述覆盖区具有两个相对的短边限定所述立式批处理炉组件10的宽度36，并且具有两个相对的长边限定所述立式批处理炉组件10的长度38，其中所述立式批处理炉组件10的宽度36为1.65米或更小，且 其中，所述盒操纵器设置有可枢转的盒操纵器臂和升降机构，所述可枢转的盒操纵器臂被配置成到达在盒存放器内的不同竖直高度处的晶片盒，且 其中所述盒存放转盘设置在升降机构和内壁之间，在跨在两个相对短边之间的方向上，升降机构和盒存放转盘之间没有重叠。

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