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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利立式批处理炉组件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112309938B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010735942.X，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权立式批处理炉组件是由C.G.M.德里德设计研发完成，并于2020-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本立式批处理炉组件在说明书摘要公布了：一种用于处理晶片的立式批处理炉组件，其包括盒操纵空间、晶片操纵空间以及分隔盒操纵空间和晶片操纵空间的内壁。盒操纵空间设置有配置成存储设置有多个晶片的多个晶片盒的盒存储器。盒操纵空间还设置有配置成在盒储存器和晶片传送位置之间传送晶片盒的盒操纵器。晶片操纵空间设置有配置成在晶片传送位置的晶片盒与晶片舟传送位置的晶片舟之间传送晶片的晶片操纵器。内壁在邻近晶片传送位置处设有晶片传送开口，用于将晶片盒从该晶片传动开口传送或传送到晶片传送开口。盒存储器包括两个盒存储转盘。

本发明授权立式批处理炉组件在权利要求书中公布了：1.一种用于处理晶片的立式批处理炉组件（10），包括： 盒操纵空间（26），其设置有配置为存储设置有多个晶片的多个晶片盒（16）的盒储存器（14）以及配置为在所述盒储存器（14）和晶片传送位置（24）之间传送晶片盒（16）的盒操纵器（28）； 晶片操纵空间（30），其设置有晶片操纵器（32），所述晶片操纵器（32）配置为在晶片传送位置（24）中的晶片盒（16）和晶片舟传送位置中的晶片舟之间传送晶片； 内壁（20），其分隔盒操纵空间（26）和晶片操纵空间（30）并在邻近晶片盒（16）的晶片传送位置（24）处设置有晶片传送开口（22），用于将晶片盒（16）从所述晶片传送开口（22）传送或传送到所述晶片传送开口（22）， 其中，所述盒储存器（14）包括两个盒存储转盘（18）, 其中，所述两个盒存储转盘（18）悬于所述内壁（20）和所述晶片操纵空间（30）之上；且 所述立式批处理炉组件具有可移除的顶盖（46），所述顶盖（46）封闭所述立式批处理炉组件（10）的顶壁（82）中的顶部开口（80），晶片盒（16）延伸通过所述顶部开口（80），所述晶片盒（16）被放置在两个盒存储转盘（18）中的至少一个盒存储转盘（18）的顶部平台（70）处。

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