艾科系统公司马修·埃里克·科瓦契奇获国家专利权
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龙图腾网获悉艾科系统公司申请的专利用于流量限制器的密封件获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114556536B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080057738.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于流量限制器的密封件是由马修·埃里克·科瓦契奇;扎卡赖亚·伊齐基尔·麦金太尔;肖恩·约瑟夫·彭利;克里斯托弗·布赖恩特·戴维斯设计研发完成，并于2020-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于流量限制器的密封件在说明书摘要公布了：用于控制气流的装置是输送用于半导体制造的工艺气体的重要部件。这些用于控制气流的装置经常依赖于有效密封的流量限制器，这可以消除流量限制器周围的工艺气体泄漏。在一个实施例中，公开了一种用于流量限制器的密封件，该密封件包括收缩配合到流量限制器的密封部分上的塑料圆柱体。在另一个实施例中，公开了一种用于流量限制器的密封件，该密封件具有带流量孔的第一密封环、安装在流量孔中的流量限制器。
本发明授权用于流量限制器的密封件在权利要求书中公布了：1.一种阀组件，包括： 包括有通道的阀； 流量限制器，该流量限制器包括： 第一端； 第二端； 从所述第一端延伸至所述第二端的纵向轴线； 密封部分，其沿所述纵向轴线位于所述第一端与所述第二端之间；以及 密封件，其与所述流量限制器的密封部分和所述阀的通道接触； 其中，工艺气体通过所述流量限制器从所述第一端流到所述第二端，所述密封件防止所述工艺气体在所述流量限制器周围流动；所述流量限制器与所述通道的壁间隔开。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人艾科系统公司，其通讯地址为：美国得克萨斯州78728奥斯汀市帕克路200C号600室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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