株式会社斯库林集团鳅场真树获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法及基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114342048B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080061195.4，技术领域涉及：H01L21/3105；该发明授权基板处理方法及基板处理装置是由鳅场真树;村元僚;宗德皓太;难波敏光;吉原直彦设计研发完成，并于2020-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法及基板处理装置在说明书摘要公布了：保持有具有第1面及与第1面相反的第2面的基板。在基板的第2面上配置有被加压的臭氧水。臭氧水在用以进行基板的处理的使用点被加热。
本发明授权基板处理方法及基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，具备： 保持具有第1面及与上述第1面相反的第2面的基板的步骤； 在所述基板的所述第2面上配置被加压的臭氧水的步骤； 在用以进行所述基板的处理的使用点对所述臭氧水进行加热的步骤；以及 配置压力保持部的步骤，所述压力保持部具有隔开间隔地与所述基板的所述第2面的至少一部分相对的相对面， 所述使用点为所述压力保持部的内部的所述臭氧水中与所述基板的所述第2面接触的部分， 配置所述臭氧水的步骤包含对所述基板的所述第2面的至少一部分与所述压力保持部的所述相对面之间供给所述臭氧水的步骤， 所述压力保持部包含： 主体部，其隔开间隔地与所述基板的所述第2面相对；以及 翼部，其配置于所述主体部的边缘，从所述主体部朝向所述基板的所述第2面延伸，并与所述基板的所述第2面相对， 所述翼部隔开间隙长HG地与所述基板的所述第2面相对，且具有内周长LI的筒形状， 所述压力保持部包含向所述基板的所述第2面与所述主体部之间供给所述臭氧水且具有截面积SC的供给部， 并满足SC＞LI×HG。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社斯库林集团，其通讯地址为：日本京都府；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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