中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所司志伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所申请的专利助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114197049B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010986305.X,技术领域涉及:C30B29/40;该发明授权助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统及方法是由司志伟;刘宗亮;徐科设计研发完成,并于2020-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统及方法。所述系统包括:单晶生长单元、原料循环单元、搅拌单元和氮气供给单元;所述单晶生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室,所述原料循环单元包括用以容置生长氮化物单晶所需原料的循环腔室,所述反应腔室与所述循环腔室相互连通,且所述原料能够在所述反应腔室与循环腔室之间循环流动;所述搅拌单元至少用以对所述循环腔室和或反应腔室内的原料进行搅拌;所述氮气供给单元至少用以向所述循环腔室和或反应腔室内提供氮气。本发明利用原料循环单元以及搅拌单元对反应腔室和循环腔室内的原料进行循环和搅拌,使生长形成的氮化物单晶均匀性更好、质量更高。
本发明授权助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统,其特征在于包括:单晶生长单元、原料循环单元、搅拌单元和氮气供给单元; 所述单晶生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室,所述原料循环单元包括用以容置生长氮化物单晶所需原料的循环腔室,所述反应腔室与所述循环腔室相互连通,且所述原料能够在所述反应腔室与循环腔室之间循环流动; 所述搅拌单元至少用以对所述循环腔室和或反应腔室内的原料进行搅拌;所述氮气供给单元至少用以向所述循环腔室和或反应腔室内提供氮气;所述搅拌单元和氮气供给单元能够使氮离子于所述原料内均匀分布,并使所述原料中的金属镓和氮离子的摩尔比值维持在指定范围内; 所述原料循环单元还包括至少一第一输料管路和至少一第二输料管路,所述反应腔室分别经所述第一输料管路、第二输料管路与循环腔室连通; 其中,所述第一输料管路两端的管口分别设置在所述反应腔室的底部、循环腔室的底部,且所述第一输料管路还与一泵连接配合,以将反应腔室底部的原料输送至循环腔室的底部; 所述第二输料管路的物料入口设置在所述循序腔室的中上部,物料出口设置在所述反应腔室的中下部,所述循环腔室中的原料能够沿所述第二输料管路自流入至所述反应腔室内; 所述搅拌单元包括第一搅拌单元,所述第一搅拌单元包括第一驱动机构和搅拌桨,所述搅拌桨设置在所述循环腔室内,且所述搅拌桨与所述第一驱动机构传动连接并能够在所述第一驱动机构的驱使下以自身轴线为轴旋转;所述搅拌桨上还设置有多个孔洞,在以所述搅拌桨对原料进行搅拌时,所述原料能够于所述孔洞中流动;所述第一输料管路还与搅拌桨固定连接,并能够随所述搅拌桨一起转动。
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