应用材料公司马修·斯伯勒获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于管理基板释气的系统和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114730722B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080078774.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于管理基板释气的系统和方法是由马修·斯伯勒;姚东明设计研发完成，并于2020-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于管理基板释气的系统和方法在说明书摘要公布了：本揭示内容的实施方式涉及用于管理热处理腔室中的有机化合物的设备、系统和方法。气体管线可以与热处理腔室流体连通，并且排气泵可以通过排气导管耦接到热处理腔室，并且可以由流出物流量控制阀控制。设备包括取样管线，取样管线具有耦接到排气导管的有机化合物传感器。有机化合物传感器可以与控制模块通信，控制模块可以控制用于处理基板的操作参数。
本发明授权用于管理基板释气的系统和方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 热处理腔室，所述热处理腔室限定处理空间； 气体管线，所述气体管线耦接至所述热处理腔室； 排气泵，所述排气泵通过排气导管耦接到所述热处理腔室； 排气流量控制器，所述排气流量控制器耦接到所述排气导管；和 取样管线，所述取样管线耦接到所述排气导管，所述取样管线包括有机化合物传感器和取样流量控制阀，所述有机化合物传感器通信地耦接到所述排气流量控制器，其中所述取样流量控制阀被配置为由控制模块操纵以基于从所述有机化合物传感器接收的信号来控制穿过所述有机化合物传感器的流出物的流率。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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