英诺激光科技股份有限公司;常州英诺激光科技有限公司陶沙获国家专利权
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龙图腾网获悉英诺激光科技股份有限公司;常州英诺激光科技有限公司申请的专利一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法及其系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112719602B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011622090.X，技术领域涉及：B23K26/352；该发明授权一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法及其系统是由陶沙;张杰;秦国双设计研发完成，并于2020-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法及其系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法及其系统，该方法包括利用激光对玻璃表面进行加工，以得到初加工产品；对所述初加工产品采用化学腐蚀，以得到灰度阶梯结构的产品。本发明通过激光在玻璃表面加工出待加工的图案，改变玻璃表面及下层的材料物理化学性质，并利用碱性腐蚀液进行化学腐蚀，由此加工出灰度阶梯结构的产品，实现高效率地制备灰度阶梯结构的光学微型器件。
本发明授权一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法及其系统在权利要求书中公布了：1.一种激光化学腐蚀加工灰度阶梯结构产品的方法，其特征在于，包括： 利用激光对玻璃表面进行加工，以得到初加工产品； 对所述初加工产品采用化学腐蚀，以得到灰度阶梯结构的产品； 所述利用激光对玻璃表面进行加工，以得到初加工产品，包括： 采用紫外激光光束对玻璃表面加工出所需的图案，以得到初加工产品； 所述紫外激光光束的波长为343nm至355nm，所述紫外激光光束的脉宽为250fs至950fs； 或者所述紫外激光光束的波长为266mm，所述紫外激光光束的脉宽不大于15ps； 或者所述紫外激光光束的波长为213mm，所述紫外激光光束的脉宽不大于10ns； 所述对所述初加工产品采用化学腐蚀，以得到灰度阶梯结构的产品，包括： 采用碱性腐蚀液对所述初加工产品的图案进行化学腐蚀，以得到灰度阶梯结构的产品； 所述碱性腐蚀液为KOH水溶液； 所述碱性腐蚀液的腐蚀温度为97℃。
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