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龙图腾网获悉ALD真空技术有限公司申请的专利工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116057201B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180055936.2，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间是由约尔格·维蒂奇;西蒙·奥伯勒;优尔根·霍茨;史蒂芬·昆克尔;沃尔夫冈·理思设计研发完成，并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间在说明书摘要公布了：本揭露是有关于一种用于在一生产车间10中更换一工件承载装置50以涂覆多个基板12的方法。此方法包括以下步骤：通过一机器人16将依工件承载装置50从一供应区20移动到一处理区14；通过机器人16进一步移动工件承载装置50，经由工件承载装置50的一耦接接口60将工件承载装置50可释放地耦接到生产车间10，其中为了将工件承载装置50可释放地耦接到生产车间10，工件承载装置50的一连接臂58耦接到生产车间10的一连接部分26，从而将连接臂58固定在相对于连接部分26的一固定位置，并且其中为了将工件承载装置50可释放地耦接到生产车间10，工件承载装置50的一驱动轴56连接到生产车间10的一驱动轴28，从而以一可旋转驱动的方式将驱动轴56连接到驱动轴28。

本发明授权工件承载装置的更换方法、工件承载装置及用于涂覆基板的生产车间在权利要求书中公布了：1.一种更换一生产车间（10，100）中的一工件承载装置（50）以涂覆多个基板（12）的方法，其中该方法包括以下步骤： 通过一机器人（16）将依工件承载装置（50）从该生产车间（10、100）的一供应区（20）移动到该生产车间（10、100）的一处理区（14）； 通过该机器人（16）进一步移动该工件承载装置（50），经由该工件承载装置（50）的一耦接接口（60）将该工件承载装置（50）可释放地耦接到该生产车间（10、100）， 其中为了将该工件承载装置（50）可释放地耦接到该生产车间（10、100），该工件承载装置（50）的一连接臂（58）耦接到该生产车间（10、100）的一连接部分（26），从而将该连接臂（58）固定在相对于该连接部分（26）的一固定位置，并且 其中为了将该工件承载装置（50）可释放地耦接到该生产车间（10、100），该工件承载装置（50）的一驱动轴（56）可旋转地安装在该连接臂（58）中，并且耦接到该生产车间（10、100）的一驱动轴（28），由此该驱动轴（56）以可旋转驱动的一方式连接到该驱动轴（28）， 其中该机器人（16）包括一可移动的锁栓（88）， 在将该工件承载装置（50）移动到该处理区（14）之前，该可移动的锁栓（88）被插入到形成在该连接臂（58）中的一第一通孔（68）中，并且同时插入到形成在该驱动轴（56）中的一第一驱动轴孔（70）中，以阻止该驱动轴（56）和该连接臂（58）之间的一相对旋转；并且 在将该工件承载装置（50）可释放地耦接到该生产车间（10、100）之后，将该可移动的锁栓（88）从该第一通孔（68）和该第一驱动轴孔（70）移除，以允许该驱动轴（56）和该连接臂（58）之间的一相对旋转。

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