韩华株式会社郑亚凛获国家专利权
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龙图腾网获悉韩华株式会社申请的专利晶舟装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114203602B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110894775.8，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权晶舟装置是由郑亚凛;林在镕;韩钟国;朴相泰;金永冀;崔钟圣;金京民;张宰涣;李在澈;李奎范设计研发完成，并于2021-08-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶舟装置在说明书摘要公布了：本发明可以提供一种晶舟装置，包括：板部，包括彼此相邻的第1板以及第2板，用于在上述各个板之间的空隙中拆装基板；扣紧部件，用于对上述板部进行贯通结合；以及，绝缘部，结合到上述扣紧部件，用于维持上述各个板之间的间隔；在上述绝缘部中，为了避免在上述基板上沉积薄膜时在板之间形成电流而对薄膜进行阻断的间隙。
本发明授权晶舟装置在权利要求书中公布了：1.一种晶舟装置，其特征在于，包括： 电极板，包括以彼此相距一定间隔的方式配备的多个板，在多个上述板之间对基板进行拆装； 扣紧部件，对上述电极板进行贯通结合；以及， 绝缘部，在多个上述板中的彼此相邻的板之间结合到上述扣紧部件的外部； 借此，在上述基板上沉积薄膜时防止在板之间形成通电， 其中，多个上述板在上述扣紧部件的外周面上沿着长度方向配备，并且不同极性的电力施加到多个上述板中的彼此相邻的板， 上述绝缘部包括插入到上述扣紧部件的外周面的第1绝缘部以及以与上述第1绝缘部形成间隙的方式与上述第1绝缘部结合的第2绝缘部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人韩华株式会社，其通讯地址为：韩国首尔特别市；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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