佳能株式会社本间将人获国家专利权
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龙图腾网获悉佳能株式会社申请的专利气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114200779B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111071545.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法是由本间将人设计研发完成，并于2021-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法。提供有利于以简易构成来降低空间的温度分布的技术。气体供给装置具备构成气体的吹出口的框体和在与框体之间设有间隙并覆盖框体的罩，罩具有使从吹出口吹出的气体经过的开口部，在从正面观看吹出口时的平面观看时，开口部比吹出口小且位于收敛在吹出口的区域内的位置，罩具有在平面观看时与吹出口的一部分以及框体的第1面相向并形成开口部的第1部分和从第1部分延伸并与框体的不同于第1面的第2面相向的第2部分，第1部分将从吹出口吹出的气体的一部分向间隙引导，间隙构成由第1部分引导的气体的流路。
本发明授权气体供给装置、光刻装置以及物品制造方法在权利要求书中公布了：1.一种气体供给装置，其特征在于， 上述气体供给装置具备： 框体，该框体构成气体的吹出口；以及 罩，该罩在与上述框体之间设有间隙并覆盖上述框体， 上述罩具有开口部，该开口部使从上述吹出口吹出的气体经过， 在从正面观看上述吹出口时的平面观看时，上述开口部比上述吹出口小且位于收敛在上述吹出口的区域内的位置， 上述罩具有：第1部分，该第1部分在上述平面观看时与上述吹出口的一部分以及上述框体的第1面相向，并形成上述开口部；以及第2部分，该第2部分从上述第1部分延伸，并与上述框体的不同于上述第1面的第2面相向， 上述第1部分将从上述吹出口吹出的气体的一部分向上述间隙引导，上述间隙构成由上述第1部分引导的气体的流路。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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