华东光电集成器件研究所高博获国家专利权
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龙图腾网获悉华东光电集成器件研究所申请的专利一种适用不同厚度晶圆的石英舟获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114141675B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111479845.X，技术领域涉及：H01L21/673；该发明授权一种适用不同厚度晶圆的石英舟是由高博;张雷;乔琪琪;忽永瑞;孙瑞瑞;赵恩设计研发完成，并于2021-12-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用不同厚度晶圆的石英舟在说明书摘要公布了：本发明涉及一种适用不同厚度晶圆的石英舟，包括一对上槽棒（1）和一对下槽棒（2），上、下槽棒相互平行且上槽棒位于下槽棒上侧，两下槽棒之间连接一组石英板（3），两下槽棒外侧通过石英板分别与上槽棒连接，上、下槽棒上分别均布一组V型槽（4），上槽棒的V型槽位置与下槽棒的V型槽位置相互对应，均处在同一截面，所述上槽棒上的V型槽槽底连通有第一I型槽（5），所述下槽棒上的V型槽槽底连通有第二I型槽（6），第一I型槽槽宽为0.8‑1.1mm，第二I型槽槽宽为0.4‑0.7mm。本发明适用不同厚度、相同直径晶圆，能够防止晶圆倾斜过大，提高片间均匀性，满足生产工艺要求，方便采用晶圆自动导片机进行自动化作业。
本发明授权一种适用不同厚度晶圆的石英舟在权利要求书中公布了：1.一种适用不同厚度晶圆的石英舟，包括一对上槽棒（1）和一对下槽棒（2），上、下槽棒相互平行且上槽棒（1）位于下槽棒（2）上侧，两下槽棒（2）之间连接一组石英板（3），两下槽棒（2）外侧通过石英板（3）分别与上槽棒（1）连接，上、下槽棒上分别均布一组V型槽（4），上槽棒（1）的V型槽（4）位置与下槽棒（2）的V型槽（4）位置相互对应，均处在同一截面，其特征在于：所述上槽棒（1）上的V型槽（4）槽底连通有第一I型槽（5），所述下槽棒（2）上的V型槽（4）槽底连通有第二I型槽（6），第一I型槽（5）槽宽为0.8-1.1mm，第二I型槽（6）槽宽为0.4-0.7mm； 所V型槽（4）槽口夹角为55-70°； 所述第一、第二I型槽的槽深均为1-5mm。
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