买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利维护装置、真空处理系统和维护方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116711051B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180084843.2，技术领域涉及：H01L21/3065；该发明授权维护装置、真空处理系统和维护方法是由道菅隆设计研发完成，并于2021-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本维护装置、真空处理系统和维护方法在说明书摘要公布了：维护装置包括：形成有开口部的壳体，开口部具有与在处理容器设置有第一开闭门和第二开闭门的真空处理装置的第二开闭门对应的尺寸，第一开闭门用于基片的送入送出，第二开闭门与第一开闭门不同，能够将开口部气密地安装于第二开闭门；用于对壳体内部进行减压的减压机构；和配置在壳体内部的吸引机构，其能够经由开口部进入处理容器内，对处理容器内的对象物的附着物进行吸引。

本发明授权维护装置、真空处理系统和维护方法在权利要求书中公布了：1.一种维护装置，其特征在于，包括： 形成有开口部的壳体，所述开口部具有与在处理容器设置有第一开闭门和第二开闭门的真空处理装置的所述第二开闭门对应的尺寸，所述第一开闭门用于基片的送入送出，所述第二开闭门与所述第一开闭门不同，能够将所述开口部可拆装地并且气密地安装于所述第二开闭门； 用于对所述壳体内部进行减压的减压机构；和 配置在所述壳体内部的吸引机构，其能够经由所述开口部进入所述处理容器内，对所述处理容器内的对象物的附着物进行吸引， 所述吸引机构包括： 臂，该臂的前端能够经由所述开口部靠近所述处理容器内的对象物；和 设置在所述臂的前端的吸引口，其用于对所述处理容器内的对象物的附着物进行吸引， 所述处理容器内的对象物是载置台，该载置台具有能够载置基片的载置部和能够载置边缘环的外周部， 所述维护装置还包括配置在所述壳体内部的输送机构，其能够经由所述开口部进行边缘环从所述处理容器的送出和边缘环向所述处理容器内的送入， 所述输送机构将更换用的边缘环送入所述处理容器内并载置在所述载置台的外周部， 所述维护装置还包括控制部，其利用设置在所述臂的前端的拍摄部在周向的多个位置分别对所述更换用的边缘环与所述载置台的载置部之间的间隙进行拍摄，基于所得到的拍摄图像，对周向的多个位置分别计算所述间隙的宽度与基准宽度的偏移量，并控制所述输送机构对所述更换用的边缘环的位置修正所计算出的所述偏移量。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东京毅力科创株式会社，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。