ASML荷兰有限公司彭星月获国家专利权
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龙图腾网获悉ASML荷兰有限公司申请的专利确定掩模规则检查违规和掩模设计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115390358B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210573051.8，技术领域涉及：G03F1/84；该发明授权确定掩模规则检查违规和掩模设计是由彭星月;拉斐尔·C·豪厄尔;卢彦文;陈晓瑞设计研发完成，并于2022-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本确定掩模规则检查违规和掩模设计在说明书摘要公布了：本文描述了用于使用具有与MRC相对应的几何性质的检测器来确定与掩模特征相关联的所述掩模规则检查违规MRC的方法和系统。所述检测器例如椭圆形的被配置为包括用于检测曲率违规的弯曲部分、封闭区域例如全封闭区域或者具有开口的部分封闭区域、被配置为引导具有掩模特征的所述检测器的相对定位的规定取向轴线以及用于检测临界尺寸违规的长度。所述检测器的所述取向轴线与所述掩模特征上的位置处的法向轴线对准。基于与所述掩模特征的所述法向轴线对准的所述取向轴线，与所述掩模特征的与所述封闭区域相交的区域对应的MRC违规被确定。
本发明授权确定掩模规则检查违规和掩模设计在权利要求书中公布了：1.一种掩模规则检查方法，包括： 获得具有与掩模规则检查相对应的几何性质的非圆形检测器，所述非圆形检测器被配置为包括用于检测曲率违规的弯曲部分、封闭区域、垂直于所述弯曲部分的取向轴线以及用以检测临界尺寸违规的沿所述取向轴线的长度； 将所述取向轴线与掩模特征上的位置的规定轴线对准，以使所述非圆形检测器的所述长度沿所述掩模特征的所述规定轴线延伸；以及 基于所对准的非圆形检测器和所述掩模特征，识别与所述掩模特征的与所述封闭区域相交的区域对应的掩模规则检查违规，其中所述非圆形检测器的所述对准和几何形状使所述检测器与掩模特征的所述区域相交以识别违规； 其中所述非圆形检测器具有至少第一弯曲部分和第二弯曲部分，其中所述第一弯曲部分具有第一曲率半径，其中所述第二弯曲部分具有第二曲率半径，并且其中所述第一曲率半径不同于所述第二曲率半径。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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