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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种相位光栅位置测量系统及测量结构参数的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116222422B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310091741.4，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种相位光栅位置测量系统及测量结构参数的方法是由李璟;杨光华;朱世懂;殷超设计研发完成，并于2023-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种相位光栅位置测量系统及测量结构参数的方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种相位光栅位置测量系统及测量结构参数的方法，该方法包括：S1，利用相位光栅位置测量系统扫描光栅标记107，得到测量信号；S2，从测量信号中分离出各衍射级次的测量信号，获取各衍射级次的相位信息和光强信息；S3，根据相位信息计算得到光栅标记107的位置信息；S4，根据光强信息计算得到光栅标记107的结构参数。本公开利用相位光栅的衍射场信息，在测量光栅标记位置的同时，可获得光栅标记的结构信息，便于分析光栅加工工艺过程对设计结构的改变以及对于测量的影响。

本发明授权一种相位光栅位置测量系统及测量结构参数的方法在权利要求书中公布了：1.一种基于相位光栅位置测量系统测量结构参数的方法，所述相位光栅位置测量系统包括：辐射光源（101），用于产生空间相干的照明光束；准直系统（102）和孔径光阑（103），用于将所述照明光束转变为均匀且接近平行的小尺寸照明光束；照明镜组（104）、分光镜（105）和收集镜组（106），用于将所述小尺寸照明光束入射至光栅标记（107）；收集镜组（106），用于将所述光栅标记（107）产生的衍射光束转变为平行光束；光学组件（108），用于使所述平行光束发生干涉；聚焦镜组（109），用于使干涉的所述平行光束汇聚到探测器（110）；其特征在于，所述方法包括： S1，利用相位光栅位置测量系统扫描光栅标记（107），得到测量信号； S2，从所述测量信号中分离出各衍射级次的测量信号，获取所述各衍射级次的相位信息和光强信息；所述测量信号的光强信息表示为： 其中，表示+m衍射级次和-m衍射级次相等的振幅，M表示收集镜组（106）收集的最高 衍射级次，d表示光栅周期，x表示扫描位置，∆φm为各衍射级次测量信号的相位； S3，根据所述相位信息计算得到所述光栅标记（107）的位置信息； S4，根据所述光强信息计算得到所述光栅标记（107）的结构参数；所述结构参数包括所述光栅标记（107）的占空比f和槽深h；所述S4包括： 计算各衍射级次的相对信号强度Rm： 其中，f表示占空比，h表示槽深，m表示衍射级次，λ表示入射波长。

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