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龙图腾网获悉广东省智能机器人研究院申请的专利极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116184770B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310048913.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质是由马修泉;周世豪;张琳;陆培祥设计研发完成，并于2023-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质在说明书摘要公布了：本申请涉及一种极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质。该系统包括：放大器、至少两个第一泵浦激光器、连接于该激光器和放大器之间的声光调制器；置于放大器输出的激光脉冲的出射路径上的液滴靶生成器；用于获取每个液滴靶的预打靶位置和再打靶位置的位置反馈器；与位置反馈器和声光调制器以及第一泵浦激光器连接的控制器。根据上述打靶位置，确定各泵浦激光器提供产生双峰波形激光脉冲的泵浦能量所对应的目标功率和声光调制器的开关时间比；驱动各激光器提供目标功率的泵浦能量，并按照开关时间比控制声光调制器的通断，使声光调制器输出的双峰波形激光脉冲经放大器放大后，在上述位置轰击液滴靶产生极紫外光。

本发明授权极紫外光生成系统、方法、控制装置、控制器和存储介质在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光生成系统，其特征在于，包括： 至少两个第一泵浦激光器，用于提供产生双峰波形激光脉冲的泵浦能量； 声光调制器，所述声光调制器的输入端与所述第一泵浦激光器的输出端一一对应连接； 放大器，所述放大器的输入端与所述声光调制器的输出端连接； 液滴靶生成器，所述液滴靶生成器置于所述放大器输出的激光脉冲的出射路径上，所述液滴靶生成器用于生成液滴靶； 位置反馈器，所述位置反馈器用于获取每个所述液滴靶的预打靶位置和再打靶位置； 控制器，所述控制器的输入端与所述位置反馈器的输出端连接，所述控制器的控制端分别与所述声光调制器、第一泵浦激光器的受控端连接，所述控制器用于： 获取所述液滴靶的预打靶位置和再打靶位置； 根据所述液滴靶的预打靶位置和再打靶位置，确定各所述第一泵浦激光器提供产生所述双峰波形激光脉冲的泵浦能量所对应的目标功率和所述声光调制器的开关时间比； 驱动各所述第一泵浦激光器提供所述目标功率所对应的泵浦能量，并按照所述开关时间比控制所述声光调制器的通断，使所述声光调制器输出的双峰波形激光脉冲经所述放大器放大后在所述预打靶位置和所述再打靶位置轰击所述液滴靶，产生极紫外光。

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