安徽微芯长江半导体材料有限公司姚智勇获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽微芯长江半导体材料有限公司申请的专利一种不规则碳化硅晶锭快速磨切装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116714126B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310959660.1,技术领域涉及:B28D5/04;该发明授权一种不规则碳化硅晶锭快速磨切装置是由姚智勇;贺贤汉;左轩;高攀设计研发完成,并于2023-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种不规则碳化硅晶锭快速磨切装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种不规则碳化硅晶锭快速磨切装置,涉及到货物运输领域,包括磨切单元:设置有多个,用于对不规则碳化硅晶锭进行磨切处理;驱动单元:用于同时带动多个所述磨切单元进行直线移动;旋转承载单元:用于承载不规则碳化硅晶锭并对碳化硅晶锭进行旋转操作其中,多个磨切单元均安装在所述驱动单元上,所述驱动单元安装在所述旋转承载单元上。本装置采用多个磨切单元对晶锭进行竖向旋转磨切,可快速对晶锭上不规则的部分切除,且金刚线可采用较小直径的(可根据精细打磨精度进行选择),对晶锭进行切割的同时还对其具有精细打磨作用,可一次性得到标准的圆形晶锭(即经过传统打磨工艺后的得到的合格晶锭),本装置操作方便且快捷。
本发明授权一种不规则碳化硅晶锭快速磨切装置在权利要求书中公布了:1.一种不规则碳化硅晶锭快速磨切装置,其特征在于:包括 磨切单元(1):设置有多个,用于对不规则碳化硅晶锭进行磨切处理; 驱动单元(2):用于同时带动多个所述磨切单元(1)进行直线移动; 旋转承载单元(3):用于承载不规则碳化硅晶锭并对碳化硅晶锭进行旋转操作; 其中,多个磨切单元(1)均安装在所述驱动单元(2)上,所述驱动单元(2)安装在所述旋转承载单元(3)上; 所述旋转承载单元(3)包括直径小于碳化硅晶锭大小的承载盘(31),所述承载盘(31)的外壁上转动设置有转环(32),且所述转环(32)通过立柱(33)固定在接料桶(37)中,所述承载盘(31)通过连接杆与齿环(34)固定连接,所述齿环(34)的下方固定有安装板(36),且所述安装板(36)上安装有与所述齿环(34)啮合连接的旋转电机(35),所述接料桶(37)的外围呈圆周设置有若干个动力伸缩杆(38); 所述驱动单元(2)包括固定在多个所述动力伸缩杆(38)上端且内径大于碳化硅晶锭大小的空心筒(21),所述空心筒(21)的内壁上呈圆周设置有若干个降温管(24),所述空心筒(21)的外壁上固定有安装环(22),且所述安装环(22)上呈圆周排列设置有多个限位通孔(29),所述安装环(22)的外壁上转动设置有驱动环(23),且所述驱动环(23)上呈圆周排列设置有多个斜槽(28),所述安装环(22)的底部固定有驱动电机(26),且所述驱动电机(26)的输出轴上固定有驱动齿轮(25),所述驱动齿轮(25)与所述安装环(22)下端呈弧形设置的驱动齿(27)齿接; 所述磨切单元(1)包括安装有多个导向轮(102)的板体(101),其中一个所述导向轮(102)与安装在所述板体(101)上的磨切电机(103)输出轴连接,多个所述导向轮(102)上套接有金刚线,所述板体(101)上固定有贯穿相对应所述限位通孔(29)的方形限位杆(104),且所述方形限位杆(104)上呈上下设有两个限位块(105),且两所述限位块(105)的相对端分别与所述安装环(22)的上下端滑动接触,所述板体(101)上固定有下端位于相对应所述斜槽(28)内的驱动杆(106); 所述空心筒(21)的轴心、所述承载盘(31)的轴心以及多个所述磨切单元(1)所围成圆的轴心均在同一条竖直直线上; 还包括轴心对准单元(5),所述轴心对准单元(5)包括安装在所述承载盘(31)轴心处的透明片(51)和固定在所述齿环(34)上端的密封板(58),所述密封板(58)被方形齿杆(52)贯穿,所述方形齿杆(52)的上端固定有增重块(55),且所述增重块(55)的上端设有第一镜面(56),所述方形齿杆(52)通过所述安装板(36)上设有的传动齿轮(54)与下端贯穿所述安装板(36)的T形齿杆(53)齿接,所述T形齿杆(53)的横杆延伸至所述空心筒(21)直径外围,所述透明片(51)的轴心处设有标记,所述透明片(51)直径小于磨切后的碳化硅晶锭直径,所述透明片(51)的上端面位于所述承载盘(31)上端面的下方,所述承载盘(31)的下端设有容纳腔。
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