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龙图腾网获悉上海镭望光学科技有限公司申请的专利一种光刻机自由光瞳照明控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116909109B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310975318.0，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻机自由光瞳照明控制系统是由陈浩然;童长青;刘清沁设计研发完成，并于2023-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻机自由光瞳照明控制系统在说明书摘要公布了：一种光刻机自由光瞳照明控制系统，包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将目标角位置和初始驱动电压发送至控制中心；控制中心将各微反射镜的初始驱动电压发送至微反射镜阵列控制单元，以驱动各微反射镜旋转；微反射镜阵列角位置监测单元用于监测各微反射镜的角位置，并将监测的实测角位置反馈至控制中心；控制中心还用于根据实测角位置对各微反射镜进行闭环控制，直至各微反射镜实现目标照明模式。该控制系统能够对若干微反射镜高速、同步、闭环控制，提供精确的照明模式。

本发明授权一种光刻机自由光瞳照明控制系统在权利要求书中公布了：1.一种光刻机自由光瞳照明控制系统，其特征在于，所述自由光瞳照明控制系统包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；所述微反射镜阵列包括若干个微反射镜，通过控制各微反射镜旋转至不同角位置以向光刻机提供不同的照明模式； 所述运算中心分别与光刻机的上位机和所述控制中心通过Ethernet通讯连接，所述微反射镜阵列控制单元和微反射镜阵列角位置监测单元分别与所述控制中心光纤通讯连接； 所述运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据所述目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将各微反射镜的所述目标角位置和初始驱动电压发送至所述控制中心； 所述控制中心将各微反射镜的初始驱动电压发送至所述微反射镜阵列控制单元，以驱动各微反射镜旋转； 所述微反射镜阵列角位置监测单元用于监测各微反射镜的角位置，并将监测的实测角位置反馈至所述控制中心； 所述控制中心还用于根据所述实测角位置对各微反射镜进行闭环控制，直至各微反射镜实现目标照明模式； 所述控制中心包括第一DSP单元和第一FPGA单元； 所述第一DSP单元与所述运算中心通过Ethernet通讯连接，接收所述运算中心下发的目标角位置和初始驱动电压； 所述第一DSP单元与所述第一FPGA单元通过SRIO通讯连接，将接收的各微反射镜的初始驱动电压发送给第一FPGA单元； 所述第一FPGA单元与所述微反射镜阵列控制单元和微反射镜阵列角位置监测单元光纤通讯连接，所述第一FPGA单元将各微反射镜的初始驱动电压发送给所述微反射镜阵列控制单元，及将角位置检测命令发送给所述微反射镜阵列角位置监测单元； 所述第一FPGA单元还用于将所述微反射镜阵列角位置监测单元反馈的实测角位置发送至所述第一DSP单元； 所述第一DSP单元还用于根据所述实测角位置计算当前驱动电压，并根据所述初始驱动电压对所述当前驱动电压进行修正，以通过修正后的驱动电压对各微反射镜进行闭环控制。

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