南京波长光电科技股份有限公司王泽栋获国家专利权
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龙图腾网获悉南京波长光电科技股份有限公司申请的专利一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117265533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311235939.1,技术领域涉及:C23C28/04;该发明授权一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法是由王泽栋;张明利;李全民;黄胜弟;王国力;王劲设计研发完成,并于2023-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法,膜层结构为:SUBk1Hk2Lk3MA,其中SUB代表JGS1基底、A代表空气、H代表Ta2O5、L代表SiO2、M代表金刚石膜;k1‑k3代表每层的四分之一参考波长1064nm光学厚度的系数,k1取值为0.3~0.4,k2取值为1.2~1.4,k3取值为0.1~0.2。本发明高功率激光加工防尘保护膜层,在1064nm波段的透过率可达99.99%以上,膜层吸收低,粗糙度在5A以下,表面形貌图光滑,耐擦拭,耐高温,耐金属溅射,不易吸灰尘,可显著提高目前激光加工保护窗口的使用寿命。
本发明授权一种高功率激光加工防尘保护膜层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种高功率激光加工防尘保护膜层,其特征在于:膜层结构为:SUBk1Hk2Lk3MA,其中SUB代表JGS1基底、A代表空气、H代表Ta2O5、L代表SiO2、M代表金刚石膜;k1-k3代表每层的四分之一参考波长光学厚度的系数,k1取值为0.3~0.4,k2取值为1.2~1.4,k3取值为0.1~0.2; k1H层的物理厚度为20-50nm,k2L层的物理厚度为200-300nm,k3M层的物理厚度为10-30nm;参考波长为1064nm。
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