天马新型显示技术研究院(厦门)有限公司席克瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉天马新型显示技术研究院(厦门)有限公司申请的专利一种光掩膜版和曝光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118377186B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410658330.3，技术领域涉及：G03F1/38；该发明授权一种光掩膜版和曝光装置是由席克瑞;冯彦贵;何伟;余丰设计研发完成，并于2024-05-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光掩膜版和曝光装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光掩膜版和曝光装置，该光掩膜版的基板包括光掩膜区和至少部分围绕光掩膜区的标记区；光掩膜区设置有阵列排布的多个掩膜光源，掩膜光源用于提供掩膜光束；标记区设置有至少两个标记光源，标记光源用于提供标记光束；掩膜光束的波长与标记光束的波长不同。本发明的技术方案，可以提高光掩膜版的对准精度，进而提高掩膜准确性和可靠性。
本发明授权一种光掩膜版和曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种光掩膜版，其特征在于，包括： 基板，包括光掩膜区和至少部分围绕所述光掩膜区的标记区； 所述光掩膜区设置有阵列排布的多个掩膜光源，所述掩膜光源用于提供掩膜光束； 所述标记区设置有至少两个标记光源，所述标记光源用于提供标记光束； 所述掩膜光束的波长与所述标记光束的波长不同。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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