极电光能有限公司杨建获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223373199U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422117127.3,技术领域涉及:C23C14/30;该实用新型电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统是由杨建;王雪戈;冯治华设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统在说明书摘要公布了:本实用新型涉及镀膜技术领域,公开了一种电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统。其中,电子束蒸发镀膜装置包括:坩埚,包括坩埚本体和环形设于坩埚本体上的环形凹槽,环形凹槽内适于放置镀膜物料;电子束枪,用于对环形凹槽局部区域内的镀膜物料发射电子束;驱动机构,具有驱动端,驱动端与坩埚本体相连接,用于驱动坩埚本体旋转以切换电子束作用于环形凹槽上的局部区域。相较于常规的与电子束枪配合使用的小坩埚,本实用新型选择在坩埚上设置环形设于坩埚本体上的环形凹槽,可以有效增加坩埚用于盛放镀膜物料的容积,减少后续镀膜过程中停机重新投料的次数以及恢复正常镀膜所消耗的调试时间,为后续的连续性镀膜奠定了基础。
本实用新型电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统在权利要求书中公布了:1.一种电子束蒸发镀膜装置,其特征在于,包括: 坩埚1,包括坩埚本体101和环形设于所述坩埚本体101上的环形凹槽102,所述环形凹槽102内适于放置镀膜物料; 电子束枪2,用于对所述环形凹槽102局部区域内的镀膜物料发射电子束201; 驱动机构3,具有驱动端,所述驱动端与所述坩埚本体101相连接,用于驱动所述坩埚本体101旋转以切换所述电子束201作用于所述环形凹槽102上的局部区域。
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