天津华慧新科智能装备有限公司曲迪获国家专利权
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龙图腾网获悉天津华慧新科智能装备有限公司申请的专利一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223377600U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422180666.1，技术领域涉及：G03F7/30；该实用新型一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮是由曲迪;宋学颖;李宗宴设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮，属于半导体技术领域，包括把手和托盘；其特征在于：所述托盘由圆环结构的上托盘和圆环结构的下托盘组成；所述托盘的外侧壁设置有与把手连接的凸起部；所述下托盘的内径等于上托盘的内径；在所述下托盘的下端口设置有向内侧延伸的环形支撑部；所述上托盘的下端面设置有与下托盘间隙配合的环形凸起；所述上托盘与下托盘为共轴关系；在所述下托盘的上开口侧壁开设有避空槽。本实用新型利用倒置的双孔显影花篮结构双托盘中空结构，在显影过程中只有晶圆边缘部分接触花篮，从而保证晶圆无论正面还是背面都不会因为与花篮摩擦而导致的图形出现损坏。
本实用新型一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮在权利要求书中公布了：1.一种单片晶圆倒置双面结构显影花篮，包括把手3和托盘；其特征在于：所述托盘由圆环结构的上托盘1和圆环结构的下托盘2组成；所述托盘的外侧壁设置有与把手3连接的凸起部；所述下托盘2的内径等于上托盘1的内径；在所述下托盘2的下端口设置有向内侧延伸的环形支撑部；所述上托盘1的下端面设置有与下托盘2间隙配合的环形凸起；所述上托盘1与下托盘2为共轴关系；在所述下托盘2的上开口侧壁开设有避空槽21。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津华慧新科智能装备有限公司，其通讯地址为：300467 天津市滨海新区中新生态城滨海旅游区安正路以东、海旭道以北滨旅产业园B06厂房南侧一层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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