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合肥孚烜自动化科技有限公司郭甫获国家专利权

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龙图腾网获悉合肥孚烜自动化科技有限公司申请的专利一种光掩膜版清洗挂架获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223367787U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422628042.1,技术领域涉及:B08B13/00;该实用新型一种光掩膜版清洗挂架是由郭甫;赵国飞;王飞;赵乐设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种光掩膜版清洗挂架在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种光掩膜版清洗挂架,涉及光掩膜版清洗领域,包括横杆,所述横杆下端安装有下挂架。本实用新型通过设置的横杆、下挂架、第一限位槽、第二限位槽、第三限位槽、卡槽杆、限板块和小清洗架,将小清洗架以同样的方式安装在下挂架上,并通过第三限位槽上的卡槽杆和限板块进行固定小清洗架,此时可以将3英寸、6英寸的光掩膜版放置在小清洗架上,通过第一限位槽和第二限位槽内的卡槽杆和限板块进行固定不同尺寸的光掩膜版,以便用来转运,或是进行其他的工艺,此装置能够兼容不同尺寸的光掩膜版,对设备的生产能力有了很大的提升,客户可以自由选择相应的制程,而不用受限于设备,提升装置的兼容性。

本实用新型一种光掩膜版清洗挂架在权利要求书中公布了:1.一种光掩膜版清洗挂架,包括横杆1,其特征在于:所述横杆1下端安装有下挂架2,所述下挂架2中端开设有第一限位槽3,所述下挂架2中端开设有第二限位槽4,所述下挂架2中端开设有第三限位槽5,所述第三限位槽5中端安装有卡槽杆6,所述卡槽杆6前端安装有限板块7,所述下挂架2一端安装有固定轮8,所述固定轮8上端安装有小清洗架9,所述小清洗架9上端安装有架钩10,所述固定轮8上端安装有850x1440光掩膜版11。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人合肥孚烜自动化科技有限公司,其通讯地址为:230000 安徽省合肥市经济技术开发区新桥科创示范区街硕放路1号新桥集成电路科技园研发楼106-1室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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