江苏大摩半导体科技有限公司戴锦新获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏大摩半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆边缘形态检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223367725U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422624322.5，技术领域涉及：B08B5/02；该实用新型一种晶圆边缘形态检测装置是由戴锦新;张虎近设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆边缘形态检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及检测装置技术领域，具体涉及一种晶圆边缘形态检测装置，包括底座，还包括转动架，转动安装在底座上，且转动架上放置有待检测板，底座上固定安装有检测架，检测架上设有两个检测器；清理组件，包括设置在底座上的清理架，清理架上设有出风管，出风管的两端均设有出风架，且出风架上设有毛刷；驱动组件，用于驱动转动架转动，清理架一侧设有安装架，安装架上设有活塞管，转动架转动时，活塞管空气流入出风管中。通过驱动组件驱动待检测板转动时会带动活塞杆往复滑动，从而改变活塞管中的气压，使得出风管中始终有空气排出，配合毛刷对晶圆的边缘进行清理，在清理完毕后再进行检测，以此来提高检测的精度。
本实用新型一种晶圆边缘形态检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆边缘形态检测装置，包括底座1，其特征在于，还包括： 转动架2，转动安装在底座1上，且转动架2上放置有待检测板6，所述底座1上固定安装有检测架7，所述检测架7上设有两个检测器8； 清理组件，包括设置在底座1上的清理架23，所述清理架23上设有出风管20，所述出风管20的两端均设有出风架21，且出风架21上设有毛刷22； 驱动组件，用于驱动转动架2转动，所述清理架23一侧设有安装架24，所述安装架24上设有活塞管11，所述转动架2转动时，活塞管11空气流入出风管20中。
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