武汉楚兴技术有限公司熊腾青获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉武汉楚兴技术有限公司申请的专利一种承载结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223378150U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422799151.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种承载结构是由熊腾青;葛昀哲;周昌盛设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种承载结构在说明书摘要公布了：本申请提供一种承载结构，涉及半导体技术领域，旨在改善硅片在静电卡盘吸力撤销后由于应力集中所带来的膜层剥离的问题。承载结构包括承载主体和多个凸点结构。承载主体包括第一表面，多个凸点结构设于第一表面上，与第一表面连接，多个凸点结构用于承载硅片。沿第一表面的中心指向边界的方向，多个凸点结构的高度逐渐变化。承载结构的凸点结构的高度沿第一表面的中心指向边界的方向逐渐变化，能够更好的匹配硅片初始的形状。硅片被拉平所需要的强制形变减小，因此在撤销吸附力后，硅片恢复形变时所释放的内应力显著降低，有效的减小了膜层间与膜层同硅片间的内应力集中，避免了膜层因为内应力过大而剥离。
本实用新型一种承载结构在权利要求书中公布了：1.一种承载结构，其特征在于，所述承载结构包括： 承载主体，所述承载主体包括第一表面； 多个凸点结构，设置于所述第一表面上，所述多个凸点结构用于承载硅片； 其中，沿所述第一表面的中心指向边界的方向，所述多个凸点结构的高度逐渐变化，所述凸点结构的高度为所述凸点结构在与所述第一表面垂直的方向上的尺寸。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉楚兴技术有限公司，其通讯地址为：430040 湖北省武汉市东西湖区径河街网安大道7号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号