天合光能股份有限公司朱明光获国家专利权
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龙图腾网获悉天合光能股份有限公司申请的专利一种激光掺杂系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223379536U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422810423.1,技术领域涉及:H10F71/00;该实用新型一种激光掺杂系统是由朱明光;王子港;吴魁艺;刘仲雨设计研发完成,并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种激光掺杂系统在说明书摘要公布了:本实用新型揭示了一种激光掺杂系统,包括通过第一传送单元相连接的印刷组件和激光分光掺杂组件以及多个支架,经过印刷组件完成印刷的硅基底经第一传送单元传输进入激光分光掺杂组件进行两次激光处理;采用一个激光器并进行分光处理,以获得至少两束不同波长的光线,通过两个激光发射装置导向第一工作位置和第二工作位置,硅基底在转运单元上实现工作位置的变化,依次进行两次激光处理。本实施例中提供的激光掺杂系统能够通过精确的定位、灵活的分光掺杂装置、高效的传输机制以及精确的分光控制,实现高效率、高质量的半导体生产,同时具备良好的扩展性和实用性。
本实用新型一种激光掺杂系统在权利要求书中公布了:1.一种激光掺杂系统,其特征在于,包括:通过第一传送单元相连接的印刷组件和激光分光掺杂组件以及多个支架; 所述印刷组件用于对硅基底进行印刷; 所述支架架设在所述激光分光掺杂组件上; 所述激光分光掺杂组件包括转运单元和设置在所述支架上的激光分光单元,所述转运单元与所述第一传送单元相对接,且位于所述激光分光单元的下方; 所述激光分光单元包括激光器、具有至少两个输出端的分光装置以及与所述分光装置的输出端一一对应的激光发射装置,所述激光器发出的光束经过所述分光装置的输出端分别到达所述激光发射装置,所述激光发射装置包括垂直于所述转运单元的第一激光发射装置和第二激光发射装置。
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