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龙图腾网获悉传周半导体科技(上海)有限公司申请的专利一种高精度光栅尺位移解调算法和灵敏度标定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119687797B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411773049.0，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种高精度光栅尺位移解调算法和灵敏度标定方法是由段兆晨;孙超;张义荣设计研发完成，并于2024-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种高精度光栅尺位移解调算法和灵敏度标定方法在说明书摘要公布了：本发明提供的是一种高精度光栅尺位移解调算法和灵敏度标定方法，其特征是：该系统由光栅尺模块1、灵敏度标定方法2、高精度位移解调算法3组成，其中的光栅尺模块1包含准直光源11、标尺光栅12、指示光栅13、光电检测器件14；其中的灵敏度标定方法2包含可调驱动电源21、匀光光源22、功率计23、光电检测器件24；其中的高精度位移算法3包含位移解调算法31、灵敏度解调算法32。本发明中的灵敏度解调算法32根据灵敏度标定方法2输出的光电检测器件24各像素电压、光功率解调出各像素灵敏度，位移解调算法31通过调用各像素灵敏度对光栅尺模块1输出的光电检测器件14各像素电压进行校正，计算光强E和位移x，其中的位移x是校正了因灵敏度差异导致的非线性误差。本发明可用于高精度微小位移的测量，可广泛用于精密半导体制造、精密位移测量、精密运动控制、数控机床的闭环反馈控制等领域。

本发明授权一种高精度光栅尺位移解调算法和灵敏度标定方法在权利要求书中公布了：1.一种高精度光栅尺位移解调系统，其特征在于：该系统由光栅尺模块1、灵敏度标定模块2、高精度位移解调模块3组成，光栅尺模块1包含准直光源11、标尺光栅12、指示光栅13、光电检测器件一14；灵敏度标定模块2包含可调驱动电源21、匀光光源22、功率计23、光电检测器件二24，可调驱动电源21是一台为匀光光源22提供稳定的电刺激的激励源，能够连续调节匀光光源22的光强，匀光光源22提供辐照度均匀的光场，功率计23输出检测到的匀光光源22的光功率；高精度位移解调模块3包含位移解调模块31、灵敏度解调模块32；其中：光电检测器件一14、光电检测器件二24是同一光电检测器件分别应用在光栅尺模块1、灵敏度标定模块2时的情况，分别用来接收空间调制的光场、空间均匀的光场，二者均能够根据入射在其上的光场的辐照度，输出可分辨的电压信号；高精度位移解调模块3中的灵敏度解调模块32根据光电检测器件二24输出的电压信号和功率计23输出的光功率，计算光电检测器件二24各像素的灵敏度，单位为VW；所计算出的灵敏度经过适当的归一化操作，转换成单位为1的浮点数，作为灵敏度的相对值，供位移解调模块31调用；位移解调模块31根据光电检测器件一14输出的电压信号和灵敏度解调模块32计算的灵敏度，逐像素利用光电检测器件一14输出的电压除以灵敏度反向计算出光电检测器件一14中各像素接收到的光强，位移解调模块31将代表各相位所有像素的光强累加，获得各相位的光强Em，通过下述公式计算相移的余弦部分I和正弦部分Q： ，其中，N为多场扫描的数目，m=0，1，2，…，N-1； 再代入下述公式解调出校正后的光强E和相移： 进而提取高精度的光栅尺增量码道上的位移x： ，其中，a为栅距。

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