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纳克微束(北京)有限公司袁良经获国家专利权

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龙图腾网获悉纳克微束(北京)有限公司申请的专利六轴联动运动平台、扫描电子显微镜及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119626875B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411817763.5,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权六轴联动运动平台、扫描电子显微镜及其应用是由袁良经;王竞岩;陈志明;连志强;郎永辉;张月新;薛敬宇;杨宇聪;李明惠;郭沫远设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

六轴联动运动平台、扫描电子显微镜及其应用在说明书摘要公布了:本发明提供了一种六轴联动运动平台,扫描电子显微镜技术领域。本发明包括:X轴直线运动结构,设置于基座上;Y轴直线运动机构,设置于基座上,用于提供龙门架沿Y方向的运动;Z轴直线运动结构,设置于龙门架上;R轴旋转结构,设置于X轴直线运动结构上,用于使样品进行360°的旋转;T轴倾摆结构,设置于Z轴直线运动结构上,同于提供电子枪组件摆动;A轴直线运动机构,设置于T轴倾摆结构上,用于提供电子枪组件沿A轴方向的直线运动。本发明具有X轴、Y轴、Z轴、A轴、T轴和R轴,能够实现六个方向的运动的调节,在针对大尺寸样品观测时,无需进行切片处理,避免对珍贵的样品造成破坏。

本发明授权六轴联动运动平台、扫描电子显微镜及其应用在权利要求书中公布了:1.一种六轴联动运动平台,其特征在于,包括: X轴直线运动结构,设置于基座上; Y轴直线运动机构,设置于基座上,用于提供龙门架沿Y方向的运动; Z轴直线运动结构,设置于所述龙门架上; R轴旋转结构,设置于所述X轴直线运动结构上,用于使样品进行360°的旋转; T轴倾摆结构,设置于所述Z轴直线运动结构上,用于提供电子枪组件摆动; A轴直线运动机构,设置于所述T轴倾摆结构上,用于提供所述电子枪组件沿A轴方向的直线运动; 还包括: 换样轴,设置于所述基座上,用于样品的更换; 所述X轴直线运动结构设置于所述换样轴上; 还包括: 整体维护轴,设置于所述基座底部,用于使所述六轴联动运动平台整体移动至真空腔室外。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人纳克微束(北京)有限公司,其通讯地址为:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院7号楼4层101-402(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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