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龙图腾网获悉济南东汉半导体设备有限公司申请的专利面向离子工艺系统的射频等离子体综合测试装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120152129B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510305591.1，技术领域涉及：H05H1/00；该发明授权面向离子工艺系统的射频等离子体综合测试装置及方法是由李涛;陈磊设计研发完成，并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本面向离子工艺系统的射频等离子体综合测试装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种面向离子工艺系统的射频等离子体综合测试装置及方法，涉及等离子体测试技术领域，该装置包括主机和耦合探头；耦合探头放置在离子工艺系统的射频传输线路上，用于根据电磁场耦合原理，通过电容或电感耦合方式对射频能量进行耦合取样，经耦合获取电流、电压信号，还用于感应获取探头内部的实时温度数据；主机包括主体外壳及设置在主体外壳内的屏蔽框架，屏蔽框架内部设有数据处理与分析单元，其用于对接收的电压、电流和温度信号进行数据处理，计算生成射频电源功率、射频电源频谱、匹配器与真空反应腔的阻抗及其他离子工艺系统参数值，同时输出射频传输中杂波捕捉、射频传输谐波测试结果，以此实现对离子工艺系统的综合测试。

本发明授权面向离子工艺系统的射频等离子体综合测试装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种面向离子工艺系统的射频等离子体综合测试装置，其特征在于，包括主机和耦合探头； 所述耦合探头放置在离子工艺系统的射频传输线路上，用于根据电磁场耦合原理，通过电容或电感耦合方式对射频能量进行耦合取样，经耦合获取电流、电压信号，以及用于感应获取探头内部的实时温度数据； 所述主机包括主体外壳及设置在主体外壳内的屏蔽框架，屏蔽框架内部设有数据处理与分析单元，所述数据处理与分析单元用于对接收的电压、电流和温度信号进行数据处理，计算生成射频电源功率、射频电源频谱、匹配器与真空反应腔的阻抗、等离子体真空反应腔中电弧捕捉以及离子工艺系统中驻波比、插入损耗、回波损耗、阻抗参数数据，同时输出射频传输中杂波捕捉、射频传输谐波测试结果； 所述耦合探头中集成有中心感应导体、温度采集单元、电流采集单元、电压采集单元和信号传输单元；其中： 所述中心感应导体用于根据电磁场耦合原理，通过电容或电感耦合方式对射频能量进行耦合取样； 所述电流采集单元和电压采集单元均与中心感应导体电连接，用于根据中心感应导体耦合取样结果获得电流、电压原始信号； 所述温度采集单元为内置在耦合探头中的温度传感器，用于实时采集探头内部的温度数据； 所述信号传输单元通过电压、电流信号传输线和温度信号传输线与主机电连接，用于将采集的电压、电流、温度信号传输至主机的数据处理与分析单元； 所述对接收的电压、电流和温度信号进行数据处理，包括： 对耦合获取的电压、电流信号进行幅值与相位的计算调整； 根据实时获取的温度数据，对调整后的电压、电流信号进行温度校正； 根据校正后的电压、电流信号，同时计算得到射频电源的功率、射频电源的频谱、匹配器和真空反应腔的阻抗、射频传输中的杂波捕捉、射频传输中的谐波测试、等离子体真空反应腔中电弧捕捉以及离子工艺系统中驻波比、插入损耗、回波损耗、阻抗参数数据。

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