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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120352644B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510581290.1，技术领域涉及：G01P15/09；该发明授权抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构是由白冰;赵玉龙;李村;李波;艾嘉宾;薛闳;卜凯;支点设计研发完成，并于2025-05-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构在说明书摘要公布了：一种抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构，包括摆组平台，摆组平台上方连接上摆组件，摆组平台下方连接下摆组件；上摆组件和下摆组件结构组成完全相同，上摆组件和下摆组件关于摆组平台对称布置；上摆组件包括通过胶装配固定的一个石英谐振器和一个金属摆；本发明上摆组件、下摆组件均采用金属摆‑石英谐振器通过贴装完成装配，并与摆组平台完成对准装配，形成“三明治”芯片结构，惯性质量块的质量翻倍，提升了加速度计的灵敏度；在金属摆中设计有环形应力隔离槽和双“C”应力隔离槽，降低了装配残余应力、外界干扰应力、干扰热应力等复杂干扰因素对石英谐振器轴向应力的影响，抑制了温漂和时漂，提升了长期稳定性。

本发明授权抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构在权利要求书中公布了：1.一种抗干扰高灵敏度集成式石英谐振加速度计芯片结构，包括摆组平台，其特征在于：摆组平台上方连接上摆组件，摆组平台下方连接下摆组件；上摆组件和下摆组件结构组成完全相同，上摆组件和下摆组件关于摆组平台对称布置； 所述的上摆组件包括通过胶装配的一个石英谐振器和一个金属摆；所述的石英谐振器包括双端固支音叉结构及其两端连接的上固定盘和下固定盘； 所述的金属摆包括双“C”应力隔离槽、环形应力隔离槽、第一石英谐振器辅助对准槽、振梁悬空槽、铰链、第一装配对准槽、质量块隔离槽、锚固盘、惯性质量块和第二石英谐振器辅助对准槽； 所述的环形应力隔离槽关于金属摆部分结构俯视竖对称轴对称设置，环形结构的圆心与整个金属摆结构的圆心重合，环形应力隔离槽与质量块隔离槽相连通，使双“C”应力隔离槽、铰链、惯性质量块处于悬空状态； 所述的双“C”应力隔离槽的两个“C”形隔离槽处于相扣状态布置，在双“C”应力隔离槽的内槽上设置有第一石英谐振器辅助对准槽，双“C”应力隔离槽内部及下部布置有振梁悬空槽，在金属摆的正面和背面均设置有振梁悬空槽； 所述的铰链关于金属摆部分结构俯视竖对称轴对称设置，其截面形状与两个相同圆的铰链结构剖面轮廓线部分重合，且关于铰链结构剖面竖对称轴和铰链结构剖面横对称轴对称，铰链的一端与双“C”应力隔离槽的下部分金属摆连接，另一端与惯性质量块连接； 所述的惯性质量块关于金属摆部分结构俯视竖对称轴对称，惯性质量块上布置有第二石英谐振器辅助对准槽，配合双“C”应力隔离槽中的第一石英谐振器辅助对准槽，完成石英谐振器与金属摆的精确对准装配，惯性质量块与锚固盘通过质量块隔离槽进行分离； 所述的锚固盘关于金属摆部分结构俯视竖对称轴对称设置，其上布置有用于芯片结构装配的第一装配对准槽，第一装配对准槽关于金属摆部分结构俯视竖对称轴呈对称设置。

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