中科纳微真空科技(合肥)有限公司郭江涛获国家专利权
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龙图腾网获悉中科纳微真空科技(合肥)有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120210752B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510691749.3，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒是由郭江涛;游锦山设计研发完成，并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒，属于磁控溅射镀膜领域，磁铁组件沿支撑梁的长度方向布置且可移动地与支撑梁连接，驱动组件与支撑梁连接用于调节磁铁组件与支撑梁表面之间的距离。在远离磁棒驱动端的支撑端内设置与支撑法兰配合的支撑接头，支撑接头内部设有用于为驱动组件供电和或提供信号的电传输结构。通过磁棒支撑端内设置电传输结构，为磁棒内的驱动组件提供供电信号传输，无需改变驱动端驱动设计，并且将电传输与冷却剂管路隔离，保证电传输安全性，从而无需停机即可实现磁棒的在线磁场调节，保证在线可调磁棒长期使用的供电信号传输的稳定性和可靠性。
本发明授权一种磁控溅射镀膜设备、旋转阴极及在线可调磁棒在权利要求书中公布了：1.一种在线可调磁棒，其特征在于，包括：支撑梁（101）、磁铁组件（105）、至少一个驱动组件、驱动接头（102）、支撑接头（107）和支撑法兰（109）； 磁铁组件（105）沿支撑梁（101）的长度方向布置且可移动地与支撑梁（101）连接，驱动组件与支撑梁（101）连接用于调节磁铁组件（105）与支撑梁（101）表面之间的距离； 驱动接头（102）和支撑接头（107）分别位于支撑梁（101）两端，支撑法兰（109）中部设有安装开口，支撑接头（107）可转动安装在所述安装开口处，支撑接头（107）内部设有用于为驱动组件供电或供电及提供信号的电传输结构（10）。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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