买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉泓浒(苏州)半导体科技有限公司申请的专利基于R-θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120376484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510867357.8，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权基于R-θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法是由郭斌;王彭;林坚设计研发完成，并于2025-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于R-θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备领域，尤其涉及基于R‑θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法。包括机器人和晶圆舱室。其中，机器人包括主轴，所述主轴连接有手臂机构，所述手臂机构包括串联结构的手臂，所述手臂中的任意一个与主轴直接或传动连接；晶圆舱室供晶圆取放并环绕机器人设置为多个，所述手臂在主轴的带动下进行进出晶圆舱室的插补动作；所述手臂机构设置为多个，多个所述手臂机构沿同一竖直轴线与主轴的执行端转动连接。通过在主轴的同一竖直轴线上设置两个独立且可同时运动的手臂机构，系统能够并行执行两个晶圆的取放操作。相较于传统单臂系统，处理相同数量晶圆的所需时间大幅缩短，系统吞吐量显著提升。

本发明授权基于R-θ构型机器人的晶圆传输系统及其装配方法在权利要求书中公布了：1.基于R-θ构型机器人的晶圆（100）传输系统，其特征在于，包括： 机器人，包括主轴，所述主轴连接有手臂机构（1），所述手臂机构（1）包括串联结构的手臂，所述手臂中的任意一个与主轴直接或传动连接； 晶圆舱室（2），供晶圆（100）取放并环绕机器人设置为多个，所述手臂在主轴的带动下进行进出晶圆舱室（2）的插补动作； 所述手臂机构（1）设置为多个，多个所述手臂机构（1）沿同一竖直轴线与主轴的执行端转动连接； 其中，所述手臂至少包括第一手臂（11）、第二手臂（12）和第三手臂（13）；设定所述第三手臂（13）所处中轴线为第一轴线（4）；以主轴中点为圆心，所述第一手臂（11）与第二手臂（12）长度尺寸的差值为半径的圆为基准圆（5）；所述第二手臂（12）与第三手臂（13）的连接端于插补运动时形成与基准圆（5）相切的插补线（6）；且所述第三手臂（13）远离第二手臂（12）的一端进入对应晶圆舱室（2）的取片位置时，所述插补线（6）与第一轴线（4）形成偏转角；所述偏转角使得任意手臂机构（1）能够对任意晶圆舱室（2）进行插补动作； 设定所述取片位置与主轴的距离为R1；所述第一手臂（11）分别连接主轴和第二手臂（12）的两个转动端的间距为L1；所述第二手臂（12）分别连接第一手臂（11）和第三手臂（13）的两个转动端的间距为L2；所述第三手臂（13）连接第二手臂（12）的转动连接端与其取片中心的间距为L3；所述偏转角为Phi；具有Phi=arcsinL1-L2R1-L3。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人泓浒(苏州)半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。